《矽基δ摻雜量子阱紅外探測器的研製》是依託復旦大學，由龔大衛擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：矽基δ摻雜量子阱紅外探測器的研製
- 依託單位：復旦大學
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：龔大衛
- 批准號：69507002
- 申請代碼：F0504
- 負責人職稱：助教
- 研究期限：1996-01-01 至 1997-12-31
- 支持經費：9（萬元）
項目摘要
本項研究圍繞著矽基δ摻雜量子阱紅外探測器的研製工作展開。用分子束外延方法生長了多種矽基δ摻雜量子阱材料，並對這些材料進行了各種結構測試及光學和電學性質測試，確認形成了符合設計要求的δ摻雜層，並觀察到該層對空穴載流子的量子限制效應，從而證明其具有δ摻雜量子阱的性質。將上述材料用台面工藝製成紅外探測器件結構，發現純矽δ摻雜量子阱材料製成的器件有很大的漏電流，不能在液氮溫區工作；而將δ摻雜量子阱放在鍺矽合金層中，則可利用鍺矽合金與矽間的價帶失配來有效抑止漏電流，使探測器達到液氮溫區下工作的目的。
