《矽含量對無定形碳化矽薄膜的結構和摩擦學性能的影響》是依託北京交通大學，由蘭惠清擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：矽含量對無定形碳化矽薄膜的結構和摩擦學性能的影響
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：蘭惠清
- 依託單位：北京交通大學
- 支持經費：20（萬元）
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0505
- 批准號：50805007
項目摘要
無定形碳化矽薄膜具有摩擦係數低、硬度高、耐磨性能好和高溫性能突出等優點，可以廣泛套用於工程和光電領域。但是隨著矽含量的改變，薄膜摩擦性能出現很大變化，而且其機理還不太清楚。本課題利用離子束濺射法製備不同矽含量的無定形碳化矽薄膜，在實驗中研究該膜的微觀結構以及納米力學性能、粘附特性和摩擦學特性，在理論上結合分子動力學模擬方法，揭示並闡明其摩擦磨損機理，篩選出具有套用前景的無定形碳化矽薄膜。本研究不僅對發展納米膜的潤滑理論、磨損理論以及微納米機構的摩擦學設計方法具有重要的學術價值，而且對開發微型機械和微機電系統的潤滑以及抗磨技術也具有重要的實際意義。
