矽化鋯

屬於矽化物，灰色正方結晶粉末。用作精細陶瓷原料粉，用於生產半導體薄膜生產用坩堝。

基本介紹

• 中文名：矽化鋯
• 外文名：zirconium disilicide
• 分子式：ZRSI2
• 分子量：147.39
• EINECS：234-911-1
• CAS：12039-90-6

物理性質

性狀：灰色正方結晶粉末

密度（g/mL,25℃）：4.88

熔點（oC）：1620

晶格常數：a=0.372nm，b=1.476nm，c=0.367nm。

顯微硬度（kg/mm2）：1063

生成熱（kJ/mol）：62.8

性質與穩定性

常溫常壓下穩定

避免的物料 氧化物

作用與用途

用作精細陶瓷原料粉，用於生產半導體薄膜生產用坩堝。

合成方法

以金屬鋯和矽粉為原料。將金屬鋯粉碎，再與矽粉充分混合，將混合料放入石墨爐內，加熱至900～1000℃進行預反應，然後通入氫氣，再升溫至1200℃左右進行反應，製得矽化鋯。

貯存方法

常溫密閉，陰涼通風乾燥。

毒理學數據

主要的刺激性影響：

在皮膚上面：可能引起發炎

在眼睛上面：可能引起發炎

致敏作用：沒有已知的敏化現象

生態學數據

通常對水是不危害的，若無政府許可，勿將材料排入周圍環境。