矽化鉑探測器

矽化鉑探測器是指利用鉑矽肖特基勢壘和內光電效應將入射的紅外輻射轉變成電信號的器件。又稱矽化鉑肖特基勢壘探測器。

基本介紹

• 中文名：矽化鉑探測器
• 外文名：platinumsilicondetector
• 學科：航空工程
• 領域：工程技術

簡介

矽化鉑探測器是指利用鉑矽肖特基勢壘和內光電效應將入射的紅外輻射轉變成電信號的器件。又稱矽化鉑肖特基勢壘探測器。

用途

主要用於中、短波紅外輻射的探測。

構造

它的構造和工藝原理是在P型矽材料上沉積一層厚度約2nm的鉑金屬層，金屬鉑和半導體矽之間形成肖特基勢壘。

原理

當能量小於1.1cV(矽的禁頻寬度)的光子透過矽襯底入射到矽化鉑上時，會激發出電子,部分激發電子會越過肖特基勢壘述人矽內，形成信號電荷。

工作環境

矽化鉑探測器在77K下工作、回響截止波長為5.6μm，量子效率很低僅為1%左右，常採用光學諧振腔結構提高器件的回響率。矽化鉑探測器不單個使用，常做成矽化鉑焦平面陣列。

現狀

由於製造工藝主要是矽器件工藝，且工藝成熟,所以容易做成大面陣，回響均勻性好，且成品率高，是可實用的最大紅外焦平面陣列。