石英管外徑控制（Quartz tube outer diameter control）是指MCVD工藝中，對高溫加熱的石英管的外徑所進行的控制。其目的是使管子不收縮，管子收縮會導致：①折射率分布參數的波動，使之偏窩預定值；②限制可以沉積的層數；③管子的溫控靈敏度降低。
基本介紹
- 中文名：石英管外徑控制
- 外文名：Quartz tube outer diameter control
- 目的：高溫加熱石英管外徑所進行的控制
- 目的：使管子不收縮
- 橢圓率：小於0.5%
- 學科：電力科學
目的,管徑控制方法,控制系統,
目的
MCVD工藝中，對高溫加熱的石英管的外徑所進行的控制。其目的是使管子不收縮，管子收縮會導致：
①折射率分布參數的波動，使之偏窩預定值；
②限制可以沉積的層數；
③管子的溫控靈敏度降低。
管徑控制方法
管徑控制的方法是，用雷射照射法、二極體列陣或閉路電視系統等動態測量管子的外徑，測量儀器與燈頭裝在一個拖板上移動，測試精度約10μm。實驗信號與預定信號的偏差經放大後傳輸到裝在石英管廢氣排出端的內壓調節器上，廢氣排出通過一隻縫口可調節的閥門，閥門的打開程度受步進電機控制。正常的管內壓力調節在98~196Pa(10到20毫米水柱)範圍內，如此控制石英管外徑的精度可達到±0.01mm；橢圓率小於0.5%，並使溫度控制穩定在±5℃之內。
控制系統
為保證折射率剖面精度、尺寸均勻性及製得大尺寸的預製件，需控制石英支撐管的外傳並防止其變形。下圖表示出石英管外徑的控制系統。
控制系統由雷射測量計測得的石英管外徑信號經過與設定直徑比較後，驅動執行機構，調整尾管閥門開口的大小，以調節管內的壓力，從而使石英管外徑受控。一般把管壓維持在100-200pa之間。
管徑控制系統的參考技術指標為：
測量範圍：Φ10-40mm，測量精度：±0.01mm，控制精度：±0.05mm。
管徑控制系統同時可改善石英管的橢圓度。
