真空高溫PVD連續磁控濺射系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2012年12月28日啟用。技術指標主機控制採用可程式序控制器(PLC)+觸控螢幕(HMI)組合電器控制系統。1主要功能使用直流(或中頻)磁控濺射,可廣...