真空隔膜閥,是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上,用來截止或接通真空系統。
閥門漏率:Valve Leak Rate | ≤1.3×10-4Pa.L/S. |
適用溫度:Applicable Temperature | -25~+80℃(丁腈橡膠) -30~+150℃(氟橡膠) |
適用範圍:Applicability | |
連線型式 Loose Flange | 使用壓力範圍(Pa) |
活套法蘭(GB6070、JB919) | 0.6×106~1.3×10-4 |
焊接法蘭(GB6070、JB919) | 1.6×106~1.3×10-4 |
快卸法蘭(GB4982) | 0.1×106~1.3×10-4 |
螺紋連線 Threaded Connection | 1.6×106~1.3×10-4 |