《真空科學技術叢書--真空鍍膜》是2019年化學工業出版社出版的圖書，作者是李雲奇。
基本介紹
- 中文名：真空科學技術叢書--真空鍍膜
- 作者：李雲奇
- 語言：中文
- 出版時間：2019年11月7日
- 出版社：化學工業出版社
- 頁數：310 頁
- ISBN：9787122127808
- 定價：85 元
- 開本：16 開
- 裝幀：平裝
內容簡介
本書是本著突出近代真空鍍膜技術進步，注重系統性、強調實用性而編著的。全書共11章，內容包涵了真空鍍膜中物理基礎，各種蒸發源與濺射靶的設計、特點、使用要求，各種真空鍍膜方法以及薄膜的測量與監控，真空鍍膜工藝對環境的要求等。
