真空滲鉻工藝是指在真空中進行鋼製工件表面洛銷的工藝方法。這一工藝可在通用型真空爐中進行。一般在0.133Pa 真空度下進行真空滲鉻，常用溫度為1100~1150℃，保溫時間視要求滲層厚度而定。所用滲劑為：0.400mm (50 目) w (鉻鐵粉) 25%與0.400~0.071mm(50~200目) w(氧化鋁粉) 75% ，或以w (鉻鐵粉）、w (耐火土粉) 各50%作為滲劑；如再加人總量2%的NH4CI則可起到催滲作用，而明顯縮短工藝周期。也有使用顆粒狀鉻作為滲劑的，粒度3~5mm。
操作時，首先將工件清洗乾淨，乾燥後與滲劑同時裝人罐中，工件之間距離約10mm。裝爐及爐子密封后啟動真空泵開始抽真空，真空度達到0.133Pa即可開始升溫及滲路。達到預定保溫時間，斯絕熱源工件隨爐冷卻，至250℃出爐空冷。出爐溫度過高，工件表面將被氧化而失去應有的光澤滲層厚度與滲人溫度、保溫時間及被滲材料種類有關。一般的規律是溫度越高、保溫時間越長則滲層越厚。
