《直熱式低功耗MEMS氣體感測器的研製》是依託吉林大學，由張彤擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：直熱式低功耗MEMS氣體感測器的研製
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：張彤
- 依託單位：吉林大學
- 負責人職稱：教授
- 批准號：60104006
- 申請代碼：F0306
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：20（萬元）
項目摘要
本項目在對珠狀結構和熱線型結構氣敏元件的研究基礎上，套用新興的MEMS技術，採用體矽工藝和表面矽工藝，設計並製作可明顯降低功耗的三維腔體結構的直熱式氣敏管芯。利用溶膠凝膠工藝製備氣敏膜，使得摻雜更方便隨意，並且採用表面修飾技術對氣敏膜最佳化修飾。最終實現集氣敏元件、加熱元件和測溫元件於一體的微型直熱式低功耗氣體感測器。
