2019年度國家技術發明獎二等獎——微量摻鍺直拉矽單晶技術及其套用,主要完成人
浙江金瑞泓科技股份有限公司副總經理,博士
1月10日,中共中央、國務院在北京隆重舉行國家科學技術獎勵大會。
國家技術發明獎二等獎——微量摻鍺直拉矽單晶技術及其套用
主要完成人:楊德仁(浙江大學),田達晰(浙江金瑞泓科技股份有限公司),余學功(浙江大學),馬向陽(浙江大學)
田達晰博士致力於矽單晶生長研究,是中國在一線從事半導體矽單晶材料研究和製造的主要技術專家之一。
2019年度國家技術發明獎二等獎——微量摻鍺直拉矽單晶技術及其套用,主要完成人
浙江金瑞泓科技股份有限公司副總經理,博士