用表面電漿波技術動態測微小轉角研究

《用表面電漿波技術動態測微小轉角研究》是依託清華大學，由郭繼華擔任項目負責人的面上項目。

基本介紹

• 中文名：用表面電漿波技術動態測微小轉角研究
• 依託單位：清華大學
• 項目負責人：郭繼華
• 項目類別：面上項目
• 批准號：59675078
• 申請代碼：E0511
• 負責人職稱：副教授
• 研究期限：1997-01-01 至 1999-12-31
• 支持經費：12（萬元）

項目摘要

本課題利用激發表面電漿波時從入射角的微小變化可以引起反射光相位顯著變化的原理，結合調製技術，完成了感測器體積小，測量分辯率高（8.3×10（-8）孤度）的微小轉角理論和實驗研究。此研究可用於納米機械阿貝誤差補償和空間受限處度測量。對物體逼近激發表面特性的研究導致了利用此技術研究納米定位工作的開始。本項目研究推動了該技術在機械領域套用研究的開展。研究得到的利用反射光相位的特性製作的感測器優於振幅特性感測器的結論有助於改進現有表面電漿波儀器和感測器。本項目研究已申請專利一個，在國際會議發表特邀論文一篇，國際刊物兩篇，國內刊物一篇。另外兩篇被國核心心期刊接收，待發表一篇。一篇已寄給國際刊物，兩名研究生畢業。