《用於惡劣環境的碳化矽微機電系統》是2010年科學出版社出版的圖書，作者是王曉浩、唐飛、王文弢。本書主要內容包括碳化矽微機電系統（SiCMEMS）介紹，用於碳化矽MEMS的沉積技術，近年來碳化矽的研究相關進展，碳化矽的乾法腐蝕，碳化矽MEMS的設計、性能和套用等。
基本介紹
- 中文名：用於惡劣環境的碳化矽微機電系統
- 作者：王曉浩 唐飛 王文弢
- 出版社：科學出版社
- 出版時間：2010年03月
- 定價：35 元
- 開本：16 開
- ISBN：9787030268624
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電子和微機電系統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其套用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電系統》是目前譯者見到的唯一一本系統論述碳化矽微機電系統的著作，作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電系統研究的幾位學者，他們系統綜述了碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和套用等環節的技術和現狀，匯聚了作者大量的經驗和智慧。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電系統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電系統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀，也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
圖書目錄
譯者序
前言
第1章 SiC MEMS概述
第2章 SiC MEMS沉積技術
第3章 與SiC接觸開發相關的問題綜述
第4章 SiC的乾法刻蝕
第5章 SiC MEMS的設計、性能和套用
