環化聚丁二烯

基本介紹

• 中文名：環化聚丁二烯

環化聚丁二烯polyhutadiene屬環化橡膠類負型光致抗蝕劑。具有特殊的耐熱性，2S(1℃時不塌膠。光敏性高，對各種基材有良好的附著力。可刻出2Rern的線條，能耐氫氟酸、磷酸、硝酸的長時間腐蝕，對光和熱敏感適用於積體電路和各種元件的光刻卜藝，精密儀器、器件等微細圖形的加工。環化聚丁二烯是由聚丁二烯經環化反應製得。雖然1,2-聚丁二烯及1,4-聚丁二烯均可環化，但實際f:選用l.4-聚丁二烯的環化物配製抗蝕劑，即以1,4-聚丁二烯橡膠為原料，在催化剎作用下進行環化，再經精製，加人交聯 ,;劑配製而成。