本書系統、全面地闡述了PVD（物理氣相沉積）塗層的發展歷史、技術原理、工藝流程及工程套用。全書共分7章，內容包括：PVD塗層的研究進展、PVD技術原理、PVD塗層技術工藝、PVD塗層的結構與性能、PVD塗層的化學成分控制、PVD塗層的質量控制和PVD塗層在現代工業上的套用。 本書深入淺出，內容豐富而精煉，工程實踐性強。在強化理論的同時，重點突出了工程套用。 本書作為國內為數不多的關於現代PVD技術原理與工程套用方面的著作，可作為高等工科院校機械工程類、工程材料類、表面工程類及相關製造類等專業的本科生和研究生教材，是工程技術人員和相關學科的科研工作者以及大中專學生、研究生重要的參考資料，特別是對於從事實際生產的工程技術人員具有重要的指導作用。
基本介紹
- 書名：現代PVD表面工程技術及套用
- 出版社：科學出版社
- 頁數：173頁
- 開本：5
- 作者：張而耕 吳雁
- 出版日期：2013年6月1日
- 語種：簡體中文
- 品牌：科學出版社
內容簡介,圖書目錄,
內容簡介
《現代PVD表面工程技術及套用》(作者張而耕、吳雁)從理論及套用實踐角度出發，系統地論述了物理氣相沉積的原理基礎、工藝過程、檢測方法、套用案例和發展前景，是工程技術人員和相關學科的科研工作者及大中專學生、研究生的重要參考資料，對於普及、傳播和套用物理氣相沉積技術具有重要的推動作用。
該書在編寫過程中力求簡化抽象的理論，言簡意賅，深入淺出，採用了大量的實物圖片來說明問題，將理論和實踐生動、緊密地結合起來。更為可貴的是，該書重點突出了工程套用這一主題，所以對於指導生產實際具有重要的參考價值。
該書在編寫過程中力求簡化抽象的理論，言簡意賅，深入淺出，採用了大量的實物圖片來說明問題，將理論和實踐生動、緊密地結合起來。更為可貴的是，該書重點突出了工程套用這一主題，所以對於指導生產實際具有重要的參考價值。
圖書目錄
序
前言
第1章 PVD塗層的研究進展
1.1 PVD塗層技術概述
1.1.1 真空塗層技術的發展
1.1.2 PVD塗層的基本概念及其特點
1.1.3 現代塗層設備
1.2 PVD塗層技術的研究概述
1.2.1 硬質合金塗層的特點
1.2.2 硬質合金的塗層方法
1.2.3 高溫化學氣相沉積塗層
1.2.4 物理氣相沉積塗層
1.2.5 等離子化學氣相沉積塗層
1.2.6 中溫化學氣相沉積塗層
1.2.7 離子輔助物理氣相沉積塗層
1.2.8 塗層硬質合金的種類
第2章 PVD技術原理
2.1 PVD涉及的真空基礎與概論
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空區域的劃分
2.1.3 與PVD相關的低溫電漿概述
2.1.4 真空獲得與抽氣概念
2.1.5 PVD與水電鍍的比較
2.2 蒸鍍技術
2.2.1 真空蒸發的原理
2.2.2 真空蒸發的優缺點
2.2.3 真空蒸發鍍膜過程
2.2.4 飽和蒸汽壓相關理論
2.2.5 蒸發所需熱量和蒸發離子的能量
2.2.6 蒸鍍的分類
2.3 磁控濺射技術
2.3.1 濺射鍍膜原理
2.3.2 直流濺射
2.3.3 直流磁控濺射
2.3.4 射頻濺射
2.3.5 脈衝濺射
2.4 陰極電弧技術
2.4.1 真空陰極弧的發展歷程
2.4.2 脈衝偏壓陰極弧鍍膜
2.4.3 陰極電弧製備薄膜的套用
2.4.4 陰極電弧電漿沉積技術的優點及特性
2.4.5 陰極電弧電漿沉積技術
2.5 不同塗層技術之間的比較
第3章 PVD塗層技術工藝
3.1 PVD塗層的前處理工藝
3.1.1 清洗
3.1.2 去毛刺
3.1.3 噴砂
3.1.4 拋光
3.2 PVD塗層的製造工藝
3.3 PVD塗層的後處理工藝
3.4 PVD塗層的退塗層工藝
第4章 PVD塗層的結構與性能
4.1 氣相沉積技術概述
4.1.1 氣相沉積技術及其分類
4.1.2 PVD和CVD的技術特性比較
4.1.3 PVD塗層的發展趨勢
4.2 PVD塗層的組織結構
4.2.1 塗層的組織形貌
4.2.2 塗層的晶體結構
4.3 PVD塗層的物理性能
4.3.1 塗層的硬度
4.3.2 塗層的結合力
4.3.3 塗層的內應力
4.3.4 塗層的抗彎強度
4.3.5 塗層的斷裂韌性
4.3.6 塗層的摩擦磨損性能
4.4 PVD塗層的化學性能
4.4.1 不同塗層試樣的氧化動力學分析
4.4.2 不同塗層試樣氧化後的組織形貌分析
第5章 PVD塗層的化學成分控制
5.1 PVD塗層的靶材選擇
5.1.1 靶材的分類和形狀
5.1.2 靶材的性能與要求
5.1.3 靶材的製造工藝
5.1.4 靶材的利用率
5.1.5 靶材的選擇注意事項
5.1.6 鈦鋁靶材製造及套用
5.1.7 新靶材套用：鉻矽、鈦矽、鈦鋁矽靶
5.2 PVD塗層的主要設備
5.2.1 真空蒸發鍍膜原理
5.2.2 PVD電弧離子鍍原理
5.2.3 PVD磁控濺射原理
5.2.4 PVD鍍膜設備組成
5.3 PVD的微納米化
5.3.1 納米塗層的優點
5.3.2 PVD製備納米塗層
5.3.3 納米塗層未來需要解決的問題
第6章 PVD塗層的質量控制
6.1 PVD塗層的外觀檢驗
6.1.1 剝落
6.1.2 色差
6.2 塗層厚度與檢測
6.2.1 塗層厚度的定義
6.2.2 PVD塗層的厚度檢驗
6.3 PVD塗層的結合力檢驗
6.3.1 劃痕測試法
6.3.2 壓痕測試法
6.3.3 球痕測試法
6.4 PVD塗層的硬度檢驗
6.4.1 維氏硬度
6.4.2 努氏硬度
6.4.3 維氏硬度與努氏硬度比較
6.5 PVD塗層的內應力與測量一
6.5.1 應力簡介
6.5.2 應力測試方法
6.6 PVD塗層的微觀特性評價與檢測
6.6.1 塗層成分
6.6.2 晶體結構
6.6.3 組織形貌
6.7 塗層的耐磨性測試
6.8 塗層的耐蝕性測試
6.9 塗層的熱耐疲勞測試
第7章 PVD塗層在現代工業上的套用
7.1 PVD塗層在衝壓/成型模具上的套用
7.1.1 衝壓模具
7.1.2 成型模具
7.1.3 案例
7.2 PVD塗層在鋁合金壓鑄模具上的套用
7.2.1 鋁合金壓鑄模的失效模式及分析
7.2.2 鋁合金壓鑄模具表面PVD塗層處理
7.2.3 案例
7.3 PVD塗層在注塑模具上的套用
7.3.1 注塑模具遇到的問題
7.3.2 注塑模具的分類處理
7.3.3 注塑模具應該具備的性能
7.3.4 案例
7.4 PVD塗層在現代切削刀具上的套用
7.4.1 現代金屬切削對刀具的要求
7.4.2 刀具硬質塗層新材料
7.4.3 提高塗層刀具使用效果的方法
7.4.4 案例
7.5 PVD塗層在摩擦磨損件上的套用
7.5.1 機械零部件的摩擦和磨損
7.5.2 類金剛石塗層在機械零部件上的套用
7.6 PVD塗層套用展望
參考文獻
前言
第1章 PVD塗層的研究進展
1.1 PVD塗層技術概述
1.1.1 真空塗層技術的發展
1.1.2 PVD塗層的基本概念及其特點
1.1.3 現代塗層設備
1.2 PVD塗層技術的研究概述
1.2.1 硬質合金塗層的特點
1.2.2 硬質合金的塗層方法
1.2.3 高溫化學氣相沉積塗層
1.2.4 物理氣相沉積塗層
1.2.5 等離子化學氣相沉積塗層
1.2.6 中溫化學氣相沉積塗層
1.2.7 離子輔助物理氣相沉積塗層
1.2.8 塗層硬質合金的種類
第2章 PVD技術原理
2.1 PVD涉及的真空基礎與概論
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空區域的劃分
2.1.3 與PVD相關的低溫電漿概述
2.1.4 真空獲得與抽氣概念
2.1.5 PVD與水電鍍的比較
2.2 蒸鍍技術
2.2.1 真空蒸發的原理
2.2.2 真空蒸發的優缺點
2.2.3 真空蒸發鍍膜過程
2.2.4 飽和蒸汽壓相關理論
2.2.5 蒸發所需熱量和蒸發離子的能量
2.2.6 蒸鍍的分類
2.3 磁控濺射技術
2.3.1 濺射鍍膜原理
2.3.2 直流濺射
2.3.3 直流磁控濺射
2.3.4 射頻濺射
2.3.5 脈衝濺射
2.4 陰極電弧技術
2.4.1 真空陰極弧的發展歷程
2.4.2 脈衝偏壓陰極弧鍍膜
2.4.3 陰極電弧製備薄膜的套用
2.4.4 陰極電弧電漿沉積技術的優點及特性
2.4.5 陰極電弧電漿沉積技術
2.5 不同塗層技術之間的比較
第3章 PVD塗層技術工藝
3.1 PVD塗層的前處理工藝
3.1.1 清洗
3.1.2 去毛刺
3.1.3 噴砂
3.1.4 拋光
3.2 PVD塗層的製造工藝
3.3 PVD塗層的後處理工藝
3.4 PVD塗層的退塗層工藝
第4章 PVD塗層的結構與性能
4.1 氣相沉積技術概述
4.1.1 氣相沉積技術及其分類
4.1.2 PVD和CVD的技術特性比較
4.1.3 PVD塗層的發展趨勢
4.2 PVD塗層的組織結構
4.2.1 塗層的組織形貌
4.2.2 塗層的晶體結構
4.3 PVD塗層的物理性能
4.3.1 塗層的硬度
4.3.2 塗層的結合力
4.3.3 塗層的內應力
4.3.4 塗層的抗彎強度
4.3.5 塗層的斷裂韌性
4.3.6 塗層的摩擦磨損性能
4.4 PVD塗層的化學性能
4.4.1 不同塗層試樣的氧化動力學分析
4.4.2 不同塗層試樣氧化後的組織形貌分析
第5章 PVD塗層的化學成分控制
5.1 PVD塗層的靶材選擇
5.1.1 靶材的分類和形狀
5.1.2 靶材的性能與要求
5.1.3 靶材的製造工藝
5.1.4 靶材的利用率
5.1.5 靶材的選擇注意事項
5.1.6 鈦鋁靶材製造及套用
5.1.7 新靶材套用：鉻矽、鈦矽、鈦鋁矽靶
5.2 PVD塗層的主要設備
5.2.1 真空蒸發鍍膜原理
5.2.2 PVD電弧離子鍍原理
5.2.3 PVD磁控濺射原理
5.2.4 PVD鍍膜設備組成
5.3 PVD的微納米化
5.3.1 納米塗層的優點
5.3.2 PVD製備納米塗層
5.3.3 納米塗層未來需要解決的問題
第6章 PVD塗層的質量控制
6.1 PVD塗層的外觀檢驗
6.1.1 剝落
6.1.2 色差
6.2 塗層厚度與檢測
6.2.1 塗層厚度的定義
6.2.2 PVD塗層的厚度檢驗
6.3 PVD塗層的結合力檢驗
6.3.1 劃痕測試法
6.3.2 壓痕測試法
6.3.3 球痕測試法
6.4 PVD塗層的硬度檢驗
6.4.1 維氏硬度
6.4.2 努氏硬度
6.4.3 維氏硬度與努氏硬度比較
6.5 PVD塗層的內應力與測量一
6.5.1 應力簡介
6.5.2 應力測試方法
6.6 PVD塗層的微觀特性評價與檢測
6.6.1 塗層成分
6.6.2 晶體結構
6.6.3 組織形貌
6.7 塗層的耐磨性測試
6.8 塗層的耐蝕性測試
6.9 塗層的熱耐疲勞測試
第7章 PVD塗層在現代工業上的套用
7.1 PVD塗層在衝壓/成型模具上的套用
7.1.1 衝壓模具
7.1.2 成型模具
7.1.3 案例
7.2 PVD塗層在鋁合金壓鑄模具上的套用
7.2.1 鋁合金壓鑄模的失效模式及分析
7.2.2 鋁合金壓鑄模具表面PVD塗層處理
7.2.3 案例
7.3 PVD塗層在注塑模具上的套用
7.3.1 注塑模具遇到的問題
7.3.2 注塑模具的分類處理
7.3.3 注塑模具應該具備的性能
7.3.4 案例
7.4 PVD塗層在現代切削刀具上的套用
7.4.1 現代金屬切削對刀具的要求
7.4.2 刀具硬質塗層新材料
7.4.3 提高塗層刀具使用效果的方法
7.4.4 案例
7.5 PVD塗層在摩擦磨損件上的套用
7.5.1 機械零部件的摩擦和磨損
7.5.2 類金剛石塗層在機械零部件上的套用
7.6 PVD塗層套用展望
參考文獻
