熱陰極高頻濺射

熱陰極高頻濺射（hot cathode high- frequency sputtering）是2013年公布的機械工程名詞。

基本介紹

• 中文名：熱陰極高頻濺射
• 外文名：hot cathode high- frequency sputtering
• 所屬學科：機械工程
• 公布時間：2013年

定義

藉助於熱陰極和陽極獲得非自持氣體放電，氣體放電產生的離子在靶表面負電位的作用下加速而轟擊靶的濺射。

出處

《機械工程名詞 第五分冊》第一版。