熱激電容譜通過改變單邊pn結或者肖特基結的空間電荷區寬度和結溫來改變深能級的荷電狀態,從而改變結電容。
中文名稱 | 熱激電容譜 |
英文名稱 | thermally stimulated capacitance spectrum |
定 義 | 通過改變單邊pn結或者肖特基結的空間電荷區寬度和結溫來改變深能級的荷電狀態,從而改變結電容,通過測量結電容的變化可以測出深能級雜質的濃度和發射參數電學測量技術。 |
套用學科 | 材料科學技術(一級學科),半導體材料(二級學科),半導體材料性能測試(三級學科) |
基本介紹
- 中文名:熱激電容譜
- 外文名:thermally stimulated capacitance spectrum
- 一級學科:材料科學技術
- 二級學科:半導體材料
- 定 義
- 通過測量結電容的變化可以測出深能級雜質的濃度和發射參數電學測量技術。