焦繼偉 博士導師。男，1989年畢業於浙江大學物理系，獲學士學位；1994年於中科院上海冶金所（現上海微系統所）獲博士學位。
基本介紹
- 中文名：焦繼偉
- 職業：博士導師
- 畢業院校：浙江大學物理系
- 主要成就：參與國家"八五"攻關項目等課題的科研工作
作為主要成員參與國家"八五"攻關項目等課題的科研工作，在低溫矽固相鍵合技術上取得突出成果，處於當時國際先進水平；1996年至2002年6月，分別於荷蘭Delft Univ. of Technology、日本三菱電機公司先端技術研究所工作，主要從事MEMS技術、車用微型慣性感測器（角速度和加速度）的開發和量產化工作，以及面向波音公司機載APAA的RF MEMS模組的研究。開發出矽－玻璃鍵合襯底上高深寬比的微機械結構的無損釋放技術，實現高成品率的微慣性器件；研製出全單面工藝的Grounded Cavity結構的低插入損耗RF MEMS器件和模組。自2002年7月起被中科院上海微系統所聘為研究員、博士生導師。目前，主要從事慣性器件、RF MEMS器件、MEMS/NEMS技術等相關研究。已發表有關論文數十篇，申請及獲得多項國際專利（日、美、歐等）。
