無塵潔淨室

無塵潔淨室(Clean Room)，亦稱為無塵室，潔淨室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔淨室，污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2裡面，無塵潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、最佳化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程式以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔淨度級別。

基本介紹

• 中文名：無塵潔淨室
• 相對濕度：45－65%（RH）
• 噪聲：≤65dB（A）
• 照度：≥300Lux

基本常識

一、無塵潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計建成的無塵潔淨房間。

二、無塵潔淨室的原理。潔淨室是利用HEPA、空氣淨化設備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分乾淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔淨空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

三、無塵潔淨室中的三塵。無塵潔淨室有三大原則：禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔淨室的緩衝通道之一，是控制帶塵的最好淨化設備之一，它可以最大限度地減少員工進出無塵潔淨室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被淨化的空氣進入無塵潔淨區域，達到生產車間所要求的生產潔淨環境。

四，無塵潔淨室最主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為無塵潔淨室。按照國際慣例，無塵淨化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對於光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

伍.每立方米將小於0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前套用在晶片級生產加工的無塵標準對於灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被套用在一些等級較高晶片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

管理制度規範

一、目的：在生產過程中做好衛生監測與管理，防止交叉污染，對產品質量起到重要的作用，因此特質定無塵潔淨室潔淨區工藝衛生管理制度。

二、範圍：適用於潔淨車間的人流，物流及車間的環境，設施潔淨有關的其它元素的管理

三、工作程式：

1、進入潔淨區工作的人員須經過體檢，取得健康證後才能上崗，每年複查一次，如果不合格者，必須調出，患有感冒的工作人員不得進入潔淨區工作。

2、潔淨區每個人所占面積不得少於4平方米

3、潔淨區內工作服管理見《潔淨區工作服管理制度》

4、每天下班後潔淨車間要用紫外燈消毒60分鐘，並填好“紫外燈消毒記錄”每月用甲醛熏蒸一次，時間半個小時，並填寫“熏蒸消毒記錄”

5、人流出入潔淨區必須按以下程式和要求進行。

人進-------換鞋-----脫外衣------洗手------穿潔淨服-------手消毒-------風林

潔淨區------出門口------脫潔淨服-------穿外衣-----換鞋-------人出

6、消毒液的配製由專人負責，採用0.3„消毒液進行消毒

7、物流進入潔淨區必須按以下程式和要求進行：

物品-----脫外包裝室-----雙層傳遞窗------潔淨區-------雙層傳遞窗------包裝室

8、進入潔淨區的零件及原輔材料，必須脫外包裝經雙層傳遞窗，生產出來的產品需經包裝封口後從傳遞窗流出

9、每天下班後，操作工做好工作檯面，地面，凳子的清潔工作，每周牆壁頂棚清潔一次，並填寫“潔淨車間衛生記錄”

10、凡進潔淨區都不得留長指甲，不得塗指甲油，不得戴戒指，手鐲，手錶，項鍊，不準吃東西，不得大聲喧譁，不得穿工作服離開潔淨區或未穿工作服進入潔淨區，口罩配戴必須規範

11、潔淨區的周轉箱套用無孔帶蓋周轉箱，不得與非潔淨區內的周轉箱交叉使用。

12、周轉箱在保證其潔淨度的前提下，每周清洗不少於1次，保證其潔淨度，並填寫“工作器具清洗消毒記錄”

13、潔淨區的工裝每天下班後操作工要做維護保養，保持工裝潔淨

14、凡進入潔淨區檢測和生產用的壓縮空氣都需經過淨化處理

15、潔淨車間在生產過程中，零配件掉在地上必須清洗後方可復用，裝配時產品不得與拖地

16、潔淨區操作工每隔2個小時，須用酒精擦拭手消毒一次，以防止人手汗或表皮脫落對產品質量造成影響

17、每天下班時，必須將製品放在周轉箱內，並加蓋，防止污染

18、淨化車間內的照明裝置每二個月檢查保養一次，以保證使用的完全，潔淨和照明度

19、紫外燈應每個編號，具體記錄其開始使用時間，累計使用時間，使用超過800小時應更換，也可以每年檢測一次紫外線強度，強度不到的應更換，燈具每周用酒精擦拭一次，並做好記錄

管理規範：

1、進入潔淨室的管理，包括對潔淨室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬

入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶人潔淨室

2、操作管理技術，對潔淨室內人員用潔淨工作的製作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，儘可能減少，防止潔淨室內塵粒，微生物的產生，滯留，繁殖等

3、嚴格各類設備，設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備，設施按要求正常運轉，包括淨化系統，各類水，氣，電系統，生產工藝設備和工具（工具夾）等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔淨度級別

4、清掃，滅菌管理，對潔淨室內的各類設備，設施的清掃，滅菌以及方法，周期和檢查明確的規定，防止，梢除潔淨室內塵粒，微生物的生產，滯留，繁殖

5、潔淨室環境控制的內容包括：空氣淨化，潔淨建築，與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備，工具等的污染物控制以及微粒振動，噪音，靜電的控制，防止等。

淨化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調節→中效空氣處理→風機加壓送風→淨化送風管道→高效送風口→潔淨室→帶走塵埃（細菌） → 迴風夾道→新風、初效空氣處理。

重複以上過程，即可達到淨化目的。

技術參數

換氣次數：十萬級10－15次/小時；

萬級15－25次/小時；

千級50－52次/小時;

百級操作台斷面風速0.25-0.35m/s；

壓差：主車間對相鄰潔淨房間≥5Pa；潔淨房間對非潔淨區≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 <26℃±2℃；

新風補充量：總送風量的20%－30%；

結構材料

1.潔淨室牆、頂板材料一般採用50mm厚的夾芯彩鋼板、淨化專用的氧化鋁型材製造。門採用淨化密閉門，窗採用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面採用環氧自流平或高級耐磨塑膠潔淨地板。

3.淨化通風管道選用鍍鋅薄鋼板製作，並採用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

組成系統作用

過濾器

過濾器的基本知識

過濾器是潔淨室的主要淨化設備，是空氣淨化的主要手段。因此，對於從事潔淨室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。

1.過濾器的分類

按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。

我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規定如下：

國家標準《高效空氣過濾器》GB13554-92中規定將高效過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超高效過濾器（或稱為0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器）。

性能指標性能類別	額定風量下的大氣塵限徑計數效率（E %）		額定風量下的初阻力（Pa）
初效	≥ 5.0μm	80 > E > 20	≤ 50
中效	≥ 1.0μm	70 > E > 20	≤ 80
高中效	≥ 1.0μm	90 > E > 70	≤ 100
亞高效	≥ 0.5μm	99.9 > E > 95	≤ 150

國外將超高效過濾器（ULPA）的過濾效率指標規定為對於≥0.12μm粒子的過濾效率E≥99.9995%。

性能指標性能類別	效率（E %）		額定風量下的初阻力（Pa）
A	額定風量下的鈉焰效率	≥ 99.9	≤ 190
B	額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率	≥ 99.99	≤ 220
C	額定風量和20%額定風量下的鈉焰效率	≥ 99.999	≤ 250
D	額定風量和20%額定風量下的≥0.1μm粒子效率	≥ 99.999	≤ 280

關於我國和歐美對過濾器的分類比較如下：

我國標準GB/T 14295

一般通風用

潔淨室用

粗效

中效

高中效

亞高效

高 效

超高效

美國ASHRAE標準

C1

C2 C3 C4

L5 L6

L7 L8

M9 M10

M11 M12

M13

M14

H15

H16

UH17 UH18

UH19

UH20

傳遞窗

1 目的：不耐高溫、高壓滅菌方法滅菌的物品傳人屏障系統的滅菌方法。

2 依據：《實驗動物管理條例》(中華人民共和國國家科學技術委員會令第2號，1988)，《動物飼養設施條件要求》(中華人民共和國國家標準，2001)。

3 操作規程：

1、用0.5%過氧乙酸或5%碘伏液擦拭待傳遞的物品。

2、打開傳遞窗外側門，迅速放置待傳遞物品，用0.5%過氧乙酸噴霧消毒傳遞窗，關閉傳遞窗外側門。

3、開啟傳遞窗內的紫外燈，紫外照射待傳遞物品不少於15分鐘。

4、通知屏障系統內的實驗人員或工作人員，打開傳遞窗內側門，取出物品

風淋室

1、概述：風淋室是潔淨廠房和裝配式潔淨室的設備，用於吹除進入淨化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃，同時風淋室也起到氣閘的作用，防止未經淨化的空氣進入潔淨區域，是進行人體淨化和防止外空氣污染潔淨區的有效設備。

結構：系列風淋室均採用發泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成，配置離心機風機及初效和高效空氣過濾器，具有外型美觀、結構緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。

2、原理：風淋室內的空氣由風機的作用經初效過濾器進入靜壓箱，經高效空氣過濾器過濾後，潔淨空氣從風淋室的噴嘴高速噴出，噴嘴角度可調節，可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃，吹下的塵埃再回收進入初效空氣過濾器，如此循環可以達到風淋的目的。

3、用途及特點:風淋室是操作人員進入潔淨室時使用的人身淨化裝置，它利用高速潔淨氣流吹淋除掉進入室內人員身上的污物，其噴嘴可調節，以便有效除去人身上的灰塵，並阻止外界污染進入潔淨區域。它也可套用於大件貨物的吹淋。

4、設備組成：主要由室體、照明、過濾系統、風機組、吹嘴、電控等部分組成。

(1)、室體：壁板採用彩鋼保溫板，其內外板均為彩鋼板，中間填充60mm厚聚苯乙烯材料，PU發泡連續成型；內外板與保溫材料整體壓制而成一體。人員進出大門尺寸為（寬×高）mm：700×1800。

(2)、室內照明：在室體的頂部安裝照明燈，燈管採用飛利浦高效光源，既安全又節能且維護方便，鎮流器採用噴房專用鎮流器，保證光強≥500Lx。

(3)、送排風系統：

a、送排風的配置方案採用1套送風機組，配置一台送風機，風機採用離心風機。採用1套排風機組為室體排風，

b、萬向吹嘴：室內空氣採用設定在室體頂部和側面的萬向吹嘴吹向操作人員的不同角落，確保潔淨質量。

c、控制系統：採用進口或合資元器件使整個控制系統具有較高的可靠性。

一. 風淋室的操作規程：

二、目的： 保持風淋的安全使用，維持潔淨室環境的潔淨度。

三、風淋室的使用：

1、進入潔淨無塵室的人員應在外更衣室脫去外衣，除下手錶、手機、飾品等物品。

2、進入內更衣室，穿戴淨化無塵衣、帽、口罩、手套。

3、拉開不鏽鋼風淋門人員進入風淋室後，風淋門立即自動關閉外門，紅外線(聲控/人體熱能)感應，風淋自動啟動，吹淋15秒(出廠已設定)。注意：風淋室在吹淋時兩個不鏽鋼門不能同時打開，如強行打開將損壞電子鎖，風淋室兩門是電子互鎖控制。

4、風淋室吹淋結束後，推開出門進入潔淨無塵室。

四、風淋室的管理：

1、風淋室由責任人管理，每季度定期更換初效濾材。

2、每2年更換風淋室的高效過濾器(有隔板)。

3、應輕開輕關風淋室內、外門。

4、在使用過程中人員請不要隨意觸摸開關，和調節智慧型語音提示系統。

5、遇風淋室發生故障時，應及時關掉急停開關，報專業維修人員修理。一般情況下不準啟動手動按鈕。

FFU層流罩

FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是：

(1)採取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內;

(2)電動機採用DC/EC(電子整流電機)，以耗較原交流電機節約近50%，因為小風機所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75～80%;在調速控制上可每台單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛採用，一般常用分組群控或全部群控。

(3)但FF瓣出口靜壓不能過大，一般採用出口風速成0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內。

一. FFU迴風系統與其他方式相比的優點

一般評價

優點：

(1)靈活性大，便於改造;

(2)占用建築物空間較少;

(3)潔淨室內空氣壓力大於迴風靜壓室，排除靜壓室對潔淨室污染的可能性。

缺點：

(1)要求迴風道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風道)、乾表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時)，總共應控制在165Pa左右，以滿足運行時最大阻力在250Pa以內。因此乾表冷器的傳熱面積要較大，迴風道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制乾表冷器阻力在50Pa左右，迴風道阻力在15Pa以內，否則就需要再增設加壓風機系統，這就是降低了FFU系統的綜合優點。

(2)採用DC/EC電機後，單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低，但已有研究指出，比採用改進後的大型軸流風機的迴風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。

(3)一般FFU系統由於單位風量的能耗較大，因此潔淨室的冷負荷亦相應增加。

具體情況下的評價：

(1)FFU用於老建築物改造成潔淨室時，其綜合經濟性一般往往可取。

(2)潔淨度要求嚴的潔淨室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統採用FFU，當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。

(3)對潔淨度要求不甚嚴的潔淨室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，採用FFU系統已經普遍。

原材料和設備

除了人員進出潔淨室須予以規範管理外，原材料及設備進出也必須經過潔淨程式，方不至於影響潔淨室潔淨度。

其進潔淨室流程如表8-4所示。至於搬出則反向而行，但不須經洗滌程式。

原材料及設備進出用潔淨室為潔淨室等級1000或10,000級房間，工作人員於其室內清潔設備或原材料時必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，並加入3～5%濃度的IPA或丙酮化學品，以增強去污能力，由於IPA及丙酮具揮發性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先於地板上鋪設已清潔過的不鏽鋼板，作為輔助。

無塵潔淨室用品

清潔室內用品除了進出潔淨室用的潔淨衣、防靜電鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。

潔淨衣材料以洗後或使用其他處理後仍不會變質或發塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料組織不易通過污染物和不易附著污染物材質，另外經過摩擦不產生靜電或帶電性非常，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質為無塵紙（或無纖紙）製成，帽子材質則與潔淨衣同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛或臉表面部分外，其他部分均須包覆，在頭部部分連線上衣處也必須完全蓋住，不能留有空隙，頭髮亦不能露出來。

潔淨室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則採用塑膠底，布質部分則採用與潔淨衣相同材質即可，鞋子穿著時潔淨衣腳跟部分應完全塞入緊密包著。手套材料除為與潔淨衣相同的布料外尚有薄橡膠或乙烯樹脂（Vinyl），在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網合作工廠夥伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，並定期做清洗，清洗須在潔淨室內進行，並以純水配合清潔溶劑，並經約0.2μm過濾器為之，一般洗滌周期視清潔度等級而定，在高潔淨區為2～3天，其他區域則為5天～1星期，洗滌完畢乾燥後應立即密封。洗滌衣置放場所須為潔淨室，備用品或新品存放櫃內，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用

在潔淨室中，人是決定微粒污染物產生的重要因素。潔淨室內工作的人員都應當充分了解個人衛生習慣對潔淨室潔淨程度的影響有多大，這才是最重要的。上海淨化工程為您介紹潔淨室工作人員應遵循的規程，有關服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。

至於珠寶首飾，工作人員可以戴結婚和訂婚戒指，但最好不要戴有尖角或者邊沿鋒利的戒指，因為它們可能會刺穿手套或者衣服。如果一定要戴這種戒指，就需要在戴手套和穿潔淨服之前用帶子把它們纏起來。建議不要佩戴懸垂式耳環、項鍊、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服裡面，也最好不要佩戴這些飾物。因為這些東西可能會干擾潔淨室或者實驗室的正常活動。

個人物品，例如香菸、錢包、紙巾和紙製品，都要存放在辦公桌或者儲物櫃裡，不能把它們帶進潔淨室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔淨室里，衣服口袋只能是空的。在進入潔淨室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。

乾燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產品。一次性鞋套最好每天更換一到兩次。大多數更衣室都有乾淨的一邊和污染的一邊，潔淨室人員應該始終按規定執行。不能穿著鞋套走出更衣室，又穿著同一雙鞋套走進來。

最好戴蓬鬆的圓帽。正如前面所說的，頭髮，包括劉海，必須完全藏在帽子裡，不能露出來。只能在潔淨室或者更衣室外面把帽子摘掉，也不能在潔淨室里脫帽子。在潔淨室或者更衣室外面戴過的帽子也不能再次使用了。

對於穿著的潔淨服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一髒就立即更換。各家公司在這個程式上的規定也不一樣。必須時刻遵守著裝程式。衣服不得與地板接觸。與地板接觸會污染衣服。

如果需要戴手套，必須使用潔淨室專用的無粉乳膠手套或者丁腈膠手套。因為有的人對乳膠中的蛋白質過敏，如果因使用了無粉乳膠手套而造成手部出現紅點，建議改用丁腈膠手套。一旦手套褪色或者有破洞必須馬上更換，但不能在潔淨室里更換，只能在更衣室里更換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應該慢慢地把手套從手上退下來。

吸塵器系統

潔淨室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、高效地完成清潔工作。

特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發生。

當你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數，因為它不會二次擴散灰塵，並可淨化室內空氣。

有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕鬆清潔乾淨。

超強的吸力可吸除更深層的粉塵。

設計新穎輕巧，符合人體工學，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。

專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質，美國太空總署特別指定使用專用專用吸塵器清除貨倉內的微細粉塵。

潔淨室吸塵器的主要組成：

大扒頭：當清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。

小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作檯底部的灰塵和顆粒。

圓毛刷：工作範圍主要集中在工作檯台面，清楚工作檯面細微的小顆粒

伸縮桿：增大清掃範圍領域。

軟管：機器正常工作時，吸收的小顆粒，灰塵，雜物，經過吸口有軟管傳遞到第一過濾系統。

集塵袋：潔淨室吸塵器的第一過濾系統，也是為最重要的環節，收集人眼能分辨的小顆粒，對保護馬達和高效過濾器有重要作用。

電源開關：

控制吸塵器的啟動和關閉。

高效過濾器：高效過濾器是吸塵器的第四大過濾系統，也是最後一個環節，高效過濾器能過濾0.012um的小顆粒，過濾之後的空氣達到100級以上。

工作原理：吸塵原理。吸塵器的風機葉輪在電動機高速驅動下，將葉輪中的空氣高速排出風機，同時使吸塵部分內空氣不斷地補充進風機。這樣內部與外界形成較高的壓差。吸嘴的塵埃、髒物隨空氣被吸入吸塵部分，並經過漏器過漏，將塵埃、髒物及顆粒吸入沉桶內.

潔淨室吸塵器的技術參數

電壓	220-240	吸塵軟管	2.5m
功率	1200w	伸縮桿長度	1005mm
氣流	96CFM	容量	15L
吸氣量	3200mmH20	整機重量	10kg
真空吸力	22kpa	外形尺寸	403*403*736
噪音標準	62db	電源線長	10m

以上基本參數為樣本形式，供讀者參考與了解！

潔淨室吸塵器的使用與維護

使用吸塵器前，請先確保室內電壓是否與本機額定電壓相符，本吸塵器已配置集塵袋，集塵袋為正確安裝前，請勿使用吸塵器

啟動與停止將電源線之電源插頭插到電源插座上，打開吸塵器電源開關，接通吸塵器馬達電源，吸塵完畢後，應先關閉吸塵器電源開關，再拔掉電源線插頭

集塵袋更換 如集塵袋已滿，請先確保已關閉吸塵器電源或已將電源插頭從電源插座中拔除，把已滿的集塵袋取出，把新集塵袋口部裝入吸嘴卡中，再把新集塵袋拉好

袋式中效過濾器及馬達保護罩清洗袋式中校過濾器及馬達保護罩屬於可洗型，如袋式中效過濾器和馬達保護罩已贓物，請把他們取下，洗淨晾乾後按拆卸部驟裝上即可，如有破損請及時聯繫代理商或經銷商更換。

使用完畢後請用無塵布探試乾淨，置於乾燥清潔處放置，請勿在潮濕環境及陽光直射環境中放置，這將導致不可預料的危險請不要用乙醇等有機溶劑探試機體表面機身如有贓物難以清除，用無塵布沾少許中性清潔劑探試，然後再用乾布，擦乾即可。吸塵器高效過濾器屬於精密器件，應視馬達運轉時及使用環境及時更換，否則將影響馬達的使用壽命，中效式過濾器及達保護罩如有贓物應及時清洗或更換，否則將影響過濾效果及影響吸塵器馬達使用壽命，集塵袋應適馬達運轉時數及使用環境而適當的更換本吸塵器是乾式吸塵器，請不要用於吸水及其他液體，亦不適用於防爆環境潔淨室吸塵器應注意事項

為避免電擊及確保作業安全在使用吸塵器前，請先閱讀使用說明及安全注意事項

使用洗車器前，請先確保接入電源電壓和本機電壓相一致

使用吸塵器前，請先確保吸塵器吸入口未被堵塞

本吸塵器屬於乾式吸塵器，僅限於乾式吸塵器，請勿試圖用於吸取水及其他液體

本吸塵器非為防爆環境設計，請勿用於防爆環境及含有可燃氣體之場所

節能設計

一、低斷面風速設計

斷面風速就是空氣處理部件中空氣經過過濾器或者加熱/冷卻盤管的速度。

大部分工程師根據“經驗”把空氣處理器設計成500英寸/分鐘。這樣的設計雖然節省時間，但是卻增加了運作費用。在低斷面風速設計中，使用更大的空氣處理器和更小的風機，從而降低空氣的流速，降低能耗和設壽命成本。

壓降決定了風機的能量損耗。由“平方定則”可知壓降與速度下降的平方成正比。如果斷面風速降低20%，那么壓降將下降36%；如果斷面風速降低50%，壓降將下降四分之三。根據“立方定則”，風機能耗的變化與流量變化的立方成正比。如果空氣流量降低50%，風機能耗將下降88%。

因此，較大尺寸的空氣處理器、較大的過濾器和盤管面積消耗較少的風機能量，可以使用比較小的風機和馬達。小風機給空氣添加的熱量比較少，降低了冷卻的難度。厚度小的盤管更容易清洗、工作效率更高，所以冷凍水的溫度可以更高。過濾器在低斷面風速情況下，工作效果更好、壽命更長。

設計減少了空氣和水的壓降，減小了冷卻盤管的帶水量。流線型設計，幾乎沒有尖角，從而使壓降減少10%到15%。

設計也可以把壓降降低四分之一。目標是使能量損耗降低至少25%，減小變速風機的大小。最優的斷面風速範圍是250-450英尺/分鐘，具體取決於使用情況和能量消耗。

二、換氣次數

無塵車間維持一定的空氣流量來保持清潔度和顆粒數。流量根據每小時的換氣次數來確定，同時這也決定了風機尺寸、建築構型和能量消耗。在保持潔淨度的前提條件下，空氣流速的降低可以降低建造及能耗成本。換氣次數降低20%就可以使風機的尺寸降低50%。空氣潔淨度比節約能耗更重要，但是最新的研究成果已經有降低潔淨成本的記載了。

關於最佳換氣次數還沒有達成共識。許多原則都已過時，是建立在老觀念上，採用低效的空氣過濾器。調查顯示，ISO第5級標準的潔淨室推薦的換氣次數變化範圍是從250到700以上。

美國的一所國家實驗室正在確定ISO第5級無塵車間的標準。研究顯示，實際換氣次數範圍是90到250――比操作規程標準低很多，而且不會影響生產和潔淨度。因此建議ISO第5級潔淨室的換氣次數大約是200，保守的上限是300。

三、馬達效率

馬達消耗了潔淨室的大部分電能。連續運轉的馬達每月消耗大量的電力。適當地提高效率、適當地調節尺寸，在翻新後，經濟效果多半是不錯的。效率增加幾個百分點，利潤就可增加。

使用優質高效的馬達，不一定會花費太多。高效率意味著最小，在改變馬達的尺寸之前先儘量減小負荷。在輸出量變化時，利用變速驅動可以提高操作效率。

四、變速驅動的冷凍機

變速驅動冷凍機能節省大量的能量和金錢。許多無塵車間的設計人員和操作人員認為，沒有必要使用變速驅動冷凍機，因為負荷通常是恆定的，多級冷凍機機組通常控制為高負荷運轉。但是負荷恆定的冷凍機通常工作在滿負荷以下。變速驅動冷凍機通常工作在全負荷的90%-95%以節省能量。一台1000噸的冷凍機穩定工作在滿負荷的70%，如果使用了變速驅動，每年就可節省兩萬到三萬美元。根據生產商的數據，電能的價格是0.05美元/千瓦時，這樣大約一年就可以回收成本。

多級冷凍機冷水式機組很少高負荷運轉。通常情況下，現場負荷通常不是正好匹配機組的能級變化。許多操作人員運行額外的冷凍機以求可靠，一旦某個冷凍機發生故障，其它的冷凍機可以立刻補充，接替其全部負荷，因此冷水式機組經常是讓冷凍機在製冷能力的60%到80%運轉。

在購買新冷凍機的時候，指定購買變速驅動冷凍機是划算的。用變速驅動冷凍機可降低能耗，同時讓其他冷凍機可靠性運行。有許多的研究和實驗證明，變速驅動冷凍機的效果是很好的。二十多年來，變速驅動冷凍機製造廠商製造出更可靠性的產品，用在新建的和升級的潔淨工廠裡面。

面臨熱點問題

2.1有關推薦或參考值的套用

潔淨室內一定潔淨度下氣流速度的確定，隨潔淨室用途等具體情況而異，它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業潔淨室而言，影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要是：

(1)室內污染源：建築物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

(2)室內氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

(3)自淨時間(恢復時間)的控制要求：潔淨室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及設備的移動等都會造成潔淨度的惡化，恢復到原來潔淨度的自淨時間決定於氣流速度;對自淨時間的控制要求取決於此時間框架內(惡化的潔淨度下)，對產品生產的質量及成品率影響的承受能力;

(4)末級過濾器的效率：在一定的室內發塵量下，可採用較高效率的過濾器以降低氣流速度;為節能應考慮採用較高效率的過濾器，並降低氣流速度，或採用較低效率的過濾器並採用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小;

(5)經濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果;

(6)對潔淨度要求低的潔淨室，有時換氣次數決定於室內排熱的要求。

以上因素，皆很難量化，只能分析對比並估計。因此在工程套用中，對潔淨室的氣流速度往往參照有關規範、導則等的推薦或參考值，再按具體情況估計以上各影響因素進行綜合考慮後確定。

氣流速度用於單向流潔淨室;非單向流潔淨室宜用換氣次數，因為其氣流速度難於測準;亦有用末級過濾滿布率來反映的，可用於各種氣流流型的潔淨室，一般滿布率100%相對於流速0.5m/s(100fpm)，25%相對於0.125m/s(25fpm)。當前有關規範、導則等的推薦或參考值見表1。

註：1、ISO14644-4對於氣流速度/換氣次數是明確作為參考資料的，表中所列僅適用於微電子及IC工廠;對製藥廠只列ISO5級氣流速度>0.2m/s，對ISO6～8級皆未列出參考值。

2、(M)指混合流，N指非單向流;*指對污染源已採取有效的隔離措施的潔淨區。

表1中有關氣流速度和換氣次數的推薦或參考值，應該說是經驗的反映。如ISO/DIS14664-4提出的數值皆明確適用於那類潔淨室的;IEST的推薦值亦是被一些權威機構認為僅適用於半導體工廠。由於具體情況變化較大，有的經驗值可能已不適合當前的室內塵源控制措施及過濾器效率提高的情況。

2.2對有關推薦或參考值的討論

近年來不少人通過實驗認為這些推薦或參考值過於保守，其論點可歸納為：

(1)潔淨室內氣流的橫向擴散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物，在此流速下亞微米粒子的擴散性能遠低於對流性能;而大於0.36m/s的氣流速度反而易千百萬渦流，引起污染物的再捲入。因此，潔淨室的理想自淨時間Tr=體積/流率，到一定值後由於污染物的再捲入，再增大氣流速度，實際的Tr並不再有明顯的減少。

(2)末級過濾器的效率對潔淨度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數推薦或參考值對末級過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當前HEPA/ULPA的效率從99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8個9以上都可選擇。其效率對氣流速度的影響除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非單向流情況下，按衡釋原理的潔淨室內含塵濃度穩定公式可以得出：

(a)室內發塵量較高時，末級過濾器效率的變化對潔淨度影響甚微，因此在這種情況下，過高的過濾效率是無必要的。

(b)室內發生塵量較低的情況下，採用低的氣流速度下，末級過濾器效率的變速器變化，對潔淨度的影響增大。

以上情況可以引用的圖1a～1c看出。

作圖有關數據：

新風進末過濾器前的含塵濃度1.75×106個/m3

室內發生量:G1=350個/m3.min

G2=3500個/m3.min

G3=35000個/m3.min

G4=350000個/m3.min

新風量對於全空氣量的比率0.03

當前有的IC工廠其ISO5級(0.3μm)的潔淨室，採用FFU系統,帶ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內平均氣流速度為0.095m/s，在各有關推薦或參考值的下限下。此潔淨室的工藝加工在微環境內潔淨室內的人員亦較少，可以認為潔淨室內發生較低，這種情況下採用低的氣流速度可能是可取的。

據報導，目前IEST對潔淨室內氣流速度推薦值的下限有所降低，如：

≤ISO5級：氣流速度0.2～0.5m/s;

ISO6級或5級(非單向流);換氣次數>200次/h;

ISO7級：換氣次數20～200次/h;

ISO8級：換氣次數2～20次/h;

等級標準

ISO/DIS 14644-1 潔淨室和潔淨區按空氣中懸浮粒子濃度的分級

ISO分級 大於等於表中所列粒徑懸浮粒子最大允許濃度（顆/m3）

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

ISO1級 10 2

ISO2級 100 24 10 4

ISO3級 1000 237 102 35 8

ISO4級 10000 2370 1020 352 83

ISO5級 100000 23700 10200 3520 832 29

ISO6級 1000000 237000 102000 35200 8320 293

ISO7級 　 　 　 352000 83200 2930

ISO8級 　 　 　 3520000 832000 29300

ISO9級 　 　 　 35200000 8320000 293000

《藥品生產質量管理規範》(1992年修訂)

潔淨級別 活粒數/立方米 活微生物數/立方米

≥0.5μm ≥5μm

100 級 ≤3,500 0 ≤5

10,000 級 ≤350,000 ≤2,000 ≤100

100,000級 ≤3,500,000 ≤20,000 ≤500

潔淨手術部潔淨用房等級標準

等級 沉降（浮游）細菌最大平均濃度 表面最大染菌密度 空氣潔淨度級別

手術區 周邊區 手術區 周邊區

I 0.2個/30minΦ90皿（5個/ m3） 0.4個/30minΦ90皿（10個/ m3） 5個/cm2 100級 1000級

II 0.75個/30minΦ90皿（25個/ m3） 1.5個/30minΦ90皿（50個/ m3） 5個/cm2 1000級 10000級

III 2個/30minΦ90皿（75個/ m3） 4個/30minΦ90皿（150個/ m3） 5個/cm2 10000級 100000級

IV 5個/30min，Φ90皿（175個/ m3） 5個/cm2 300000級

美國聯邦標準209E

等級名稱 等極限值

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm

國際單位 英制單位 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3 /m3 /ft3

M1 　 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283

M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 3.53 1.00

M2 　 3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83

M2.5 10 1240 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0

M3 　 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3

M3.5 100 　 　 26500 750 10600 300 3530 100

M4 　 　 　 75700 21400 30900 875 10000 283

M4.5 1000 　 　 　 　 　 　 35300 1000 247 7

M5 　 　 　 　 　 　 　 100000 2830 618 17.5

M5.5 10000 　 　 　 　 　 　 353000 10000 2470 70.0

M6 　 　 　 　 　 　 　 1000000 28300 6180 175

M6.5 100000 　 　 　 　 　 　 3530000 100000 24700 700

M7 　 　 　 　 　 　 　 10000000 283000 61800 1750

常用單位換算

1米m = 3.28英尺ft 1CFM（ft3/min） = 0.4719L/s

1平方米m2 = 10.76平方英尺ft2 1CFS(ft3/s) = 28.32L/s

1立方米m3 = 35.3立方英尺ft3 1FPM(ft/min) = 0.00508m/s

1英制加侖gallon = 4.55升L 1BTU/h = 0.2931W

1美制加侖gallon = 3.79升L 1千瓦kw = 860千卡/小時kcal/h

1磅lb = 454克g 1USTR美國冷噸 = 3.516 kw

1馬力HP = 0.746千瓦kw 1巴bar = 100千帕kpa

1攝氏度℃ = 5(華氏度F-32)/9 1mmH2O(毫米水柱) = 9.8067帕Pa