濺射型負離子源

濺射型負離子源是指用正離子束去轟擊工作物質，就能得到該種物質的負離子。若用銫離子束去濺射周期表第Ⅳ族以後電子親合力較大的元素，可以得到該元素微安級的負離子束流。若使氫或氬離子束通過一個充有氣態工作物質的孔道，就能得到數微安的該物質負離子束流。

目前離子源技術還在不斷地發展著。環形雙電漿離子源大型雙彭源已可提供百安級的氫正離子流磁控管型負離子源已得到安培級的氫負離子束。一些小型離子源，則具有低能散、低功耗、低氣耗、長壽命等特色。在產生多電荷重離子束的實驗裝置(如電子迴旋共振離子源、電子束離子源)中，都已得到電荷態很高的重離子。