《濃度檢測方法以及壓力式流量控制裝置》是株式會社富士金於2017年9月27日申請的專利，該專利公布號為CN109791099B，專利公布日為2021年6月8日，發明人是永瀨正明、相川獻治、平田薰、今井嵩浩、成富哲央、篠原努、松田隆博、西野功二。
基本介紹
- 中文名：濃度檢測方法以及壓力式流量控制裝置
- 授權公告號 ：CN109791099B
- 授權公告日 ：2021.06.08
- 申請號 ：201780032276X
- 申請日：2017.09.27
- 專利權人：株式會社富士金
- 地址：日本國大阪府
- 發明人：永瀨正明; 相川獻治; 平田薰; 今井嵩浩; 成富哲央; 篠原努; 松田隆博; 西野功二
- Int. Cl.：G01N9/26(2006.01)I
- 專利代理機構：北京五洲洋和智慧財產權代理事務所(普通合夥)11387
- 代理人：劉春成; 劉春燕
- 優先權：2016-189986 2016.09.28 JP
- PCT進入國家階段日：2018.11.23
- PCT申請數據：PCT/JP2017/034956 2017.09.27
- PCT公布數據：WO2018/062270 JA 2018.04.05
對比檔案,專利摘要,
對比檔案
CN 1275218 A,2000.11.29; CN 1407328 A,2003.04.02; GB 2226142 A,1990.06.20; JP 2004199109 A,2004.07.15; JP S5361390 A,1978.06.01; JP 2001330543 A,2001.11.30; CN 103797563 A,2014.05.14; CN 103518165 A,2014.01.15
專利摘要
本發明提供一種濃度檢測方法，為檢測混合氣體中所包含的規定氣體的濃度的方法，包含：在具備節流部、設定於節流部的上游側的上游閥以及測量節流部與上游閥之間的壓力的壓力感測器的壓力式流量控制裝置中，在節流部的下游側的壓力比節流部的上游側的壓力低的狀態下使混合氣體從上游閥的上游側流動的工序；通過壓力感測器檢測使上游閥從打開變化為關閉之後產生的壓力下降特性的工序；以及基於壓力下降特性檢測混合氣體中的規定氣體的濃度的工序。
