工作原理,放電分類,
工作原理
冷陰極潘寧放電原理的結構來說明,一個圓筒作為陽極,在其兩端放兩電極,一般接相同電位作為陰極,將整個放電系統放入軸向磁場中。空間中殘存的電子、離子,在電磁場的作用下,產生輪滾線運動,電子運動軌跡大大延長,導致它與中性氣體分子的碰撞幾率增大,提高了電離效率,使得這種結構在很低的氣壓下也能發生放電。
放電分類
根據磁感強度B和氣體密度n的大小可以將潘寧放電分成幾類:①在氣壓很低、磁場很弱時不發生自持放電。②低氣壓放電模式,此時放電的基本特點是:由於磁場同伸展子橫越磁場的速率遠比離子慢,於是在放電空間內形成過剩的電子云,電子云使徑向電位下垂,並在陽極附近形成鞘層;陽極電流隨氣壓線性增加,這是潘寧電離計(PIG)的基礎;此時並未在整個空間形成電漿。③高氣壓放電模式,當氣壓大於1.3×10-2Pa,放電模式由低氣壓放電突然過渡到高氣壓放電。
低氣壓放電模式還可以細分為兩種模式:①低氣壓低磁場(LMF)模式;②低氣壓高磁場(HMF)模式。