測試片是用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的矽片。等級比機械測試片高，比正片低。
| 中文名稱 | 測試片 |
| 英文名稱 | test wafer |
| 定 義 | 用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的矽片。等級比機械測試片高，比正片低。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：測試片
- 性質：材料科學技術術語
測試片是用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的矽片。等級比機械測試片高，比正片低。
| 中文名稱 | 測試片 |
| 英文名稱 | test wafer |
| 定 義 | 用於加工工藝檢測、區域和加工潔淨度檢測的矽片。等級比機械測試片高，比正片低。 |
| 套用學科 | 材料科學技術（一級學科），半導體材料（二級學科），元素半導體材料（三級學科） |