電漿是包含自由電子和自由帶電離子的一種物質狀態，被稱為物質的第四態（固液氣為三種基本狀態）。低溫電漿是指帶電粒子能量在幾個eV量級的電漿，這種情況下發生的反應主要是自由電子與價電子參與，不涉及核反應與X射線。
低溫電漿廣泛套用於刻蝕晶片、表面處理等工業生產，並在空間助推器等高科技領域發揮重要作用。
基本介紹
- 中文名：清華大學低溫電漿實驗室
- 主管部門：清華大學
研究方向
清華大學低溫電漿實驗室主要針對容性耦合電漿(CCP)和感性耦合電漿(ICP)進行診斷分析，包括光譜診斷、探針測量、表面分析、離子能量分析等手段，對電子溫度、電子密度、激發態粒子數密度等一系列電漿參數和其他參量進行測量分析。
