深能級測量是指半導休材料中深能級的測量。方法主要有：深能級瞬態譜、光致發光、光電流瞬態譜、光電容和定值光電導等。
基本介紹
- 中文名：深能級測量
- 外文名：deep level measurement
- 學科：材料工程
- 領域：工程技術
概念,優點,原理,特點,
概念
深能級測量是指半導休材料中深能級的測量。方法主要有：深能級瞬態譜、光致發光、光電流瞬態譜、光電容和定值光電導等。
優點
其中深能級瞬態譜( DLTS )法靈敏度高，分析方便、直觀、輻射中心或非輻射中心都能檢測，並能嚴格確定結區能級參數，因此被廣泛採用。
原理
深能級瞬態譜需製備p-n結或肖特基勢壘結。其原理是：處於反向偏置下的p-n結，其空間電荷區的擴展寬度Wr決定於離化了的淺雜質和深雜質濃度之和。若同時加上正向脈衝、可使其偏壓為零，中性區中的深中心迅速俘獲載流子，在脈衝消失後的瞬間由於被俘獲的載流子尚未發射，寬度小於Wr，隨時間趨向於Wr。這個時間取決於深中心的能級和濃度。
特點
深能級瞬態光譜法的重要特點是採用了“發射率窗”，從電容瞬態求出電子熱發射率。“率窗”設定後，在一次溫度掃描的過程中，不同的深中心出現在不同的溫度上，形成深能級瞬態能譜，譜峰的高度對應於深中心濃度，峰的正負對應於少子陷阱和多子陷阱。
