基本介紹
- 中文名:浸沒透鏡技術
- 外文名:Immersion Technology
- 所屬學科:微電子、半導體
定義,原理,技術特點,套用,
浸沒工藝是指元器件的浸沒工藝一般是指將敏感(回響元)通過特殊工藝技術貼在透鏡上,形成光學接觸,以提高探測器信噪比的光學工藝。套用 浸沒工藝在紅外探測等系統中得到套用,藉以提高探測器的信噪比、使系統結構緊湊。其他信息 把紅外敏感...
為了提高普通透鏡的解析度,以利於共焦3-D成像和高密度光存儲,人們提出了許多種在光學系統的透鏡上加上光瞳濾波器來實現超分辨的技術。如帶中心遮擋的圓環、漏光型環形光瞳、相位型光瞳和光柵等。這些光瞳提高了2-D成像的解析度,但...
由IBM的Hans Pfeiffer領導的電子束研究已有30年歷史,開發了變軸浸沒透鏡縮小投影曝光(PREVAIL)技術,Nikon公司看好這項技術,與IBM合作,準備用這項技術研製高解析度與高生產率統一的電子束步進機。在PREVAIL樣機上,電子轟擊鉭單晶形成...