浸沒透鏡(immersion lens)是1993年公布的電子學名詞。
基本介紹
- 中文名:浸沒透鏡
- 外文名:immersion lens
- 所屬學科:電子學
- 公布時間:1993年
浸沒透鏡(immersion lens)是1993年公布的電子學名詞。
技術特點 提高該介質的折射率可以加大光線的折射程度,等效的加大鏡頭口徑尺寸與數值孔徑,同時可以顯著提高焦深和曝光工藝的寬容度。套用 採用193nm光源的浸沒光刻(193i)技術已經成為65nm、45nm、28nm節點光刻的主流技術。
真空設備中電子槍用的最多的透鏡為浸沒透鏡。它一般由陰極、柵極和陽極組成。靜電浸沒物鏡軸外OTF的求解 靜電浸沒物鏡軸外OTF的求解,已報導的工作都是通過追跡實際電子軌跡求落點分布而得到的。由於追跡大量軌跡需占用很長的計算時間,...
浸沒透鏡通常用具有高折射率的透射材料鍺(其折射率為4)製成。它的功能是擴大探測器的視場角,提高入射輻射的能流密度,從而提高探測器的信噪比。浸沒透鏡的形狀可以取半球形,也可以取大於半球的超半球形。後者的集光效果更佳,無論...
用兩個透鏡形成的組合透鏡是一種取得短焦長、大放大率和較好成像質量的有效方法。這種方法已在天文望遠鏡和照相機中廣泛使用。1990年,Mansfield等將兩個分離的透鏡(他們稱為固體浸沒透鏡)套用於近場光存儲中,證明了在透鏡的成像面上放一...
光學系統是探測器的主要部分,它是由光管、矽片、光柵、鍺透鏡、浸沒型熱敏元件組成。紅外光學系統對運行中的列車輪軸箱表面紅外線輻射能經由光管,透過硫化鋅保護片,由光柵加以調製,然後由鍺透鏡吸收的紅外光聚焦射向浸沒透鏡,再經浸沒...
由IBM的Hans Pfeiffer領導的電子束研究已有30年歷史,開發了變軸浸沒透鏡縮小投影曝光(PREVAIL)技術,Nikon公司看好這項技術,與IBM合作,準備用這項技術研製高解析度與高生產率統一的電子束步進機。在PREVAIL樣機上,電子轟擊鉭單晶形成...
9.4.3 浸沒透鏡 9.4.4 中繼光學系統 9.4.5 前置望遠系統 9.5 光機掃描系統 9.5.1 兩種基本掃描方式 9.5.2 光機掃描機構 9.5.3 光機掃描方案 9.6 典型軍用紅外光學系統 9.6.1 紅外測溫光學系統 9.6.2 紅外跟蹤光學...