海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2017年11月30日啟用。
基本介紹
- 中文名:海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備
- 產地:中國
- 學科領域:材料科學
- 啟用日期:2017年11月30日
- 所屬類別:工藝試驗儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
輸出功率要求:>6 kW(微波功率波動《2%);有效沉積面積:》80 mm。
主要功能
在大尺寸密封器件表面均勻沉積納米金剛石膜。
海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2017年11月30日啟用。