海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備

海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年11月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：海洋動密封材料微波電漿CVD沉積設備
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年11月30日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

輸出功率要求：＞6 kW（微波功率波動《2%）；有效沉積面積：》80 mm。

主要功能

在大尺寸密封器件表面均勻沉積納米金剛石膜。