浙江大學微納技術與精密工程研究所於2017年由機械工程學院機械電子控制工程研究所中相關專業教師組建，是一個從事微納製造和精密加工相關研究的新建研究所，是流體動力與機電系統國家重點實驗室的主要組成單位之一，所屬機械電子工程學科為國家重點學科，所在的一級學科機械工程入選國家“雙一流”建設學科。
浙江大學微納技術與精密工程研究所現有教授5人，研究員1人，副教授3人，講師1人，博士後2人。目前有90餘名博士和碩士研究生在研究所從事相關課題研究。
浙江大學微納技術與精密工程研究所主要研究方向：
光刻機浸液系統
面向微納製造的流體部件
超精密加工與測量技術
微納器件與系統集成技術
人機互動與感測器網路
微納感測與驅動的套用技術
MEMS與微納製造技術
感測器與智慧型儀器
新型精密氣動元件及系統
