波前誤差

光柵刻划過程中產生刻劃誤差記為Δd，一束平面波（波長為λ）的入射到光柵槽面經刻槽衍射後沿自準直方向反射回，在返回後到達P、Q和S處。此時，存在刻劃誤差的刻槽其衍射波前Q在空間位置上比經過其他刻槽的衍射波前P和S有超前相位^[2]。標準光柵槽面在N處，出現誤差後實際刻槽在M處，對於Q光前後產生了光程差，其值為：δ=2MN（MN為線段M和N之間的垂直距離），即為波前誤差。