《水汽作用下氧化傳質的同位素示蹤研究》是依託復旦大學，由李勁擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：水汽作用下氧化傳質的同位素示蹤研究
- 依託單位：復旦大學
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：李勁
- 負責人職稱：教授
- 批准號：50871031
- 申請代碼：E0103
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 支持經費：35（萬元）
項目摘要
建立同位素示蹤技術對單晶矽和不鏽鋼兩類典型材料在水蒸氣作用下高溫腐蝕傳質機制進行系統研究，重點考察水的傳質及對氧化機制的影響。主要研究特色與先進性在於：建立含氧16與氧18同位素水蒸氣接續作用下的氧化實驗與分析體系；採用水H2O（16）與含同位素水H2O（18）接續氧化示蹤方法並結合二次離子質譜分析（SIMS）進行氧化產物中元素深度分布測定，給出高溫氧化過程中H2O的微觀傳質機制；並在產物形態及化學態等分析的基礎上建立相應水作用下傳質理論模型。給出不同體系水存在情況下的特殊氧化傳質規律的區別與成因。通過研究，可以對長期存在廣泛爭議的水直接作用與間接作用兩類理論模型給予直接澄清。該研究對於揭示不同體系水在氧化中的作用機制具有重要學術意義；同時，對於水汽控制氧化膜成長半導體工藝的發展及高溫結構材料的可靠性評價具有指導作用。
