氦離子顯微鏡

氦離子顯微鏡是一種用於材料科學領域的物理性能測試儀器，於2015年1月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：氦離子顯微鏡
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年1月27日
• 所屬類別：物理性能測試儀器

技術指標

0.5nm解析度。

主要功能

納米加工及成像。