氦質譜探漏儀

氦質譜探漏儀（helium leak detection mass spectrometer）是2016年公布的化學名詞，出自《化學名詞》第二版。

基本介紹

• 中文名：氦質譜探漏儀
• 外文名：helium leak detection mass spectrometer
• 所屬學科：化學
• 公布時間：2016年

定義

以氦氣為示漏氣體用於真空系統檢漏的質譜儀。

出處

《化學名詞》第二版。