氣相沉積儀

氣相沉積儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年7月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：氣相沉積儀
• 產地：中國香港
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年7月5日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 化工、製藥工藝實驗設備 > 化學反應工藝實驗設備

技術指標

成膜範圍直徑大於200mm，基板溫度低至300度，可以使用不少於4種工藝氣體成膜，沉積及清洗過程控制數位化、自動化，成膜質量穩定。射頻源：13.56MHZ 氣路：NH3,Ar，H2,C2H2 清洗：CH4/Ar混合氣體 樣品尺寸：8英寸 真空度：＜3×10-2 Pa 溫度範圍：＜300℃。

主要功能

製備薄膜材料，可沉積碳納米管薄膜。