殷允朋，研究員。1995年至2002年獲清華大學碩士學位，2007年獲美國麻省理工學院（MIT）化學工程系博士學位。
基本介紹
- 中文名：殷允朋
- 國籍：中國
- 職業：研究員
- 畢業院校：清華大學
簡歷
2007年至今在美國IBM公司從事電漿刻蝕過程的研發。自中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所申報入選中組部第三批青年千人計畫。
主要研究領域包括電漿設備及技術、半導體晶片集成工藝及微納米尺度結構加工及器件化等方面，在國際期刊上發表論文9篇，其中第一作者4篇。在國際會議上超過10次大會報告，其中包括兩次大會邀請報告。目前擁有9篇已發表專利、10篇發表中專利和近15篇待發表專利，並已獲得IBM頒發的三項專利發明獎。
