殘氣分析儀

真空環境要求檢測當前氣體的組成以及測量總的壓力。

基本介紹

• 中文名：殘氣分析儀
• 外文名：Residual Gas Analyzers
• 殘氣分析儀：真空環境要求檢測當前氣體的組
• 原理：殘氣分析儀是一個小體

什麼是殘氣分析儀

用於此種目的的儀器就稱為殘氣分析儀（Residual Gas Analyzers）或者分壓分析儀。

原理

殘氣分析儀是一個小體積的質譜儀，可直接連線在真空系統上，所有殘氣分析儀的工作原理都是一樣的：一小部分的氣體分子被離子化（陽離子），繼而根據質量數的不同被分離，檢測。

套用

殘氣分析儀廣泛套用於殘氣環境中不同氣體分子的快速鑑定，通過適當的校準，可用於測定不同氣體濃度或者每個氣體組分的絕對分壓。