人物經歷
1999-09--2003-07,合肥工業大學學士
2003-09--2006-03,浙江大學碩士
2009年博士畢業於中科院上海微系統與信息技術研究所,微電子學與固體電子學專業;
2007年至2009年攻讀博士期間,在德國德勒斯登(FZD)研究中心聯合培養;
2009年至2014年底先後在德國馬普微結構物理研究所和德國亥姆霍茲德勒斯登(HZDR)研究中心從事研究工作;
2015年通過中科院高層次人才項目引進回到中科院上海微系統所信息功能材料國家重點實驗室工作,任研究員;
2019年任高端矽基材料與集成器件實驗室(第七實驗室)副主任;
2022年任高端矽基材料與集成器件實驗室(第七實驗室)主任。
研究領域
主要從事先進
SOI材料、離子注入技術、異質集成XOI材料與器件研究。
研究成果
主要從事積體電路核心材料 SOI 及異質集成 XOI 技術研究,攻克大尺寸壓電單晶薄膜異質晶圓製備技術並實現成果轉化,研究成果為 5G 射頻、光電核心器件提供關鍵材料和器件方案。申請專利 170 余件,授權 70 余件,建立國內該技術最大的專利包。先後發表 SCI/EI 論文 140 余篇,作為首任大會主席發起國內第一屆射頻濾波器創新技術大會。
所獲榮譽
先後獲得國際離子注入技術大會“青年科學家獎”、德國亥姆霍茲 HZDR 研究中心年度研究獎“HZDR Prize”、國際離子束材料改性貢獻獎“IBMM Prize”、 國際 IEEE 微波獎、中國光學十大進展、中國半導體十大進展提名獎、北京市科學技術一等獎(2/10)、中國產學研合作創新獎、全國顛覆性技術創新技術大賽總決賽優勝獎等。
2022年,榮獲第十七屆中國青年科技獎。
社會任職
2017-06-16-2021-06-09,上海市半導體材料專業委員會, 委員
2016-08-31-2018-08-31,國際期刊Scientific Reports, 編委
2015-04-08-2019-04-08,核心電子材料與器件協同創新中心, 學術委員會委員。