樊中朝

樊中朝，博士，副研究員，碩士生導師。1998年於河北師範學院物理系獲物理教育專業理學學士學位。2001年於北方交通大學光電子技術研究所獲凝聚態物理專業理學碩士學位。

基本介紹

• 中文名：樊中朝
• 職業：副研究員，碩士生導師
• 畢業院校：北方交通大學
• 主要成就：在國內外核心期刊上發表和合作發表論文20餘篇
• 學位：博士

人物簡介

樊中朝，博士，副研究員，碩士生導師。1998年於河北師範學院物理系獲物理教育專業理學學士學位。2001年於北方交通大學光電子技術研究所獲凝聚態物理專業理學碩士學位。 2004年於中國科學院半導體研究所獲微電子學與固體電子學專業工學博士學位, 期間主要從事矽基光波導器件設計及製備工藝方面的研究，作為主要參與者，參與完成973、863和國家自然科學基金重大項目各一項。同年7月進入中科院半導體所集成技術工程研究中心工作。在國內外核心期刊上發表和合作發表論文20餘篇，已獲授權專利4項。目前主要從事亞波長表面電漿金屬波導器件及其與SOI波導器件集成方面的研究，還從事多種材料ICP刻蝕機理及其在各種光電子、MEMS器件中的套用研究。

完成項目

1．國家自然科學基金：亞波長表面電漿激元金屬波導與SOI波導集成研究， 負責人。

2．自然基金重點項目：矽基微納光子器件及集成，子課題負責人。

3．中國科學院儀器功能開發項目：ICP-RIE刻蝕設備改造，負責人。

4．北京市科技計畫項目：藍寶石圖形襯底關鍵工藝技術研究，負責人。

5．北京市科技計畫項目：功率器件用矽基GaN外延片研究，技術骨幹。

6．863項目：用於400Gb/s相干光通信系統的DP-16QAM光調製器模組，參與。

7．中科院青年人才項目：青年創新促進會課題，負責人。

8．國家自然科學基金：SOI襯底上單電子電晶體的研製，參與。

9．973項目：寬頻光纖與無線信息網路中的光子集成與微納光電集成基礎研究， 技術骨幹。

10．973項目：矽基微納光波導傳輸與單片光電集成技術，骨幹

11．863重點項目：高效氮化物LED材料及晶片關鍵技術，骨幹。

12．北京市科技計畫項目：藍寶石圖形襯底驗證及套用技術，技術骨幹