極紫外隨機效應是指積體電路光刻極紫外曝光工藝中光子散粒噪聲導致的能量起伏現象。 基本介紹 中文名：極紫外隨機效應外文名：EUV Stochastic Effects 由於光子的能量效應，入射在光刻膠上的光子數是起伏不定的。根據泊松定律，光子數的起伏值為（是入射光子的平均數），通常被叫做散粒噪聲（shot noise）。散粒噪聲導致曝光能量的相對起伏為/=，即入射的光子數越少，對應的曝光能量起伏越明顯。由於極紫外的光子能量遠大於193nm曝光中的光子，散粒噪聲導致的能量起伏在極紫外光刻中必須被考慮，這就是常說的極紫外隨機效應。
