極紫外評價函式

與傳統的DUV評價函式不同的是，對於EUV評價函式中必須體現散粒噪聲現象、掩模三維效應和傾斜入射光效應導致的嚴重的圖形偏移。

基本介紹

• 中文名：極紫外評價函式
• 外文名：EUV cost function

傳統的DUV評價函式主要衡量成像結果與目標圖形間差別，用邊緣放置誤差表示。EUV波長極短，單光子能量很高，因此在有限的曝光劑量下其參與成像的光子數僅為DUV的1/15.曝光光子數很少帶來很嚴重的散粒噪聲現象，造成CDU變差。同時，炎魔三維效應和傾斜入射光效應還會導致嚴重的圖形偏移。所以EUV評價函式是由傳統的EPE和這些相關項加權平均構成的。