桂成群

桂成群，男，武漢大學動力與機械學院教授、博導。

基本介紹

• 中文名：桂成群
• 學位/學歷：博士
• 職業：教師
• 專業方向：柔性電子製造；光機電一體化設備；雷射微納製造
• 任職院校：武漢大學動力與機械學院

研究方向

柔性電子製造；光機電一體化設備；雷射微納製造

學術成果

桂成群教授長期從事高端光刻設備和技術的研究，開發和項目領導工作。是一位國際化，跨學科的高端創新型人才。先後在歐洲的ASML公司，美國的AZORES CORP公司，荷蘭 SIMAX 公司，ADVANCE TREND 公司等工作15年。領導或參與了MEMS光刻機，TFH薄膜磁頭用光刻機，G4/5代平板顯示器光刻機，柔性電子光刻機，LED PSS 光刻機的研發和市場化項目。項目總經費累計超過一億美元。所領導的研發團隊從數十人到一百多人。在組織高端設備的研發方面積累了一套國際化的經驗。其中，主持或參與的MEMS光刻機，TFH薄膜磁頭製造用光刻機，G4.5代光刻機， 等光刻設備研發成功並推向市場。LED PSS（Patterned Sapphire Substrate ）光刻機正在研發和市場化的過程中。所主持的光刻機研發項目，取得了200多項專利，其中，申請人本人作為發明人或聯合發明人的國際專利或專利申請，近100項次（其中授權40餘項美國專利）。代表性的專利發明原理或技術有大面積無掩模板光刻技術原理；用於大面積光刻的光學透鏡的設計；用於MEMS光刻機的雙面對準技術（3DALIGN）；用於TFH薄膜磁頭光刻機的圖像拼接技術。在ASML工作10年期間發表了論文近十篇；公司內部技術報告200餘篇。同時代表ASML，領導並參與荷蘭套用科學研究院TNO和比利時IMEC聯合創辦的開放式創新中心HOLST CENTER的跨學科，跨業界的柔性電子製造項目的研發。取得了數項專利發明和論文。在加入ASML之前，申請人有12年在國內外大學和研究所從事科研和教學的經驗。1986年起，在清華大學精密儀器系從事教學和科研工作8年，期間參與了國家七五和八五的科技攻關項目數項，並擔任子課題負責人。項目有大型火力發電機組故障診斷系統的研發，新型感測器的研發。獲得了國家，教育部和北京市的科技獎勵數項。1993年起在荷蘭特文特大學MESA+微納米系統研究所從事研究工作。4年期間在國際期刊上發表論文30餘篇；國際會議報告10餘次，國際會議大會特邀報告一次。發表博士論文一本。

主持科研項目

國家重點研發計畫―雷射高性能連線技術與裝備（Grant No. 2017YFB1104900）課題負責人

參與科研項目

國家重大科研儀器研製項目―薄膜生長缺陷跨時空尺度原位/實時監測與調控實驗裝置

個人經歷

教育背景

1998年11月-1999年11月，特溫特大學電子工程，博士後

1994年9月-1998年11月，特溫特大學電子工程，博士

1987年7月-1989年7月，清華大學機械工程，碩士

1984年7月-1986年7月，清華大學管理工程專業，碩士

1979年7月-1984年7月，清華大學機械製造工藝設備及自動化專業，本科