柯西係數是指材料的折射率隨波長變化的物理量。
基本介紹
- 中文名:柯西係數
- 外文名:Cauchy Factor
材料的折射率是隨波長而變化的。對於透明材料,柯西(Cauchy)於1836年得出了一個經驗公式:
![柯西係數 柯西係數](/img/b/ecc/nBnaugTZkNjYkhzMiNWM4EGZmVTYygTZwUjZzUDZiFDNmVGMiFjMkVWMjdzLtVGdp9yYpB3LltWahJ2Lt92YuUHZpFmYuMmczdWbp9yL6MHc0RHa.jpg)
上式中,n是折射率,λ是波長。n0,n1,n2等被稱為柯西係數,注意,柯西係數n0,n1,n2的單位是不一樣的。通常只取式中的第一項和第二項來進行近似,即
![柯西係數 柯西係數](/img/7/a77/nBnauUDOwAjMwMDOwY2M3MTMmRWNhhTOwEjN3UTO4M2MzkDZ3EmM0QjMlBzLtVGdp9yYpB3LltWahJ2Lt92YuUHZpFmYuMmczdWbp9yL6MHc0RHa.jpg)
雖然光刻膠不是完全透明的,業界仍然使用柯西公式來計算其折射率n和k。
![柯西係數 柯西係數](/img/0/abd/nBnauMGOzI2MmJ2MwAjNilzMiRGZzMDM0kTMwEWZ5MWNiJWNiNzMwIWO1MzLtVGdp9yYpB3LltWahJ2Lt92YuUHZpFmYuMmczdWbp9yL6MHc0RHa.jpg)
表1是各種光刻膠和抗反射塗層的柯西係數。
![表1 一些光刻膠和抗反射塗層的柯西係數 表1 一些光刻膠和抗反射塗層的柯西係數](/img/b/cc4/nBnauYmM2YmY3IGM1kDZxYDMwYjNlBzNkZmY3kTO4IGNykTZwMjZxgzM5IzLtVGdp9yYpB3LltWahJ2Lt92YuUHZpFmYuMmczdWbp9yL6MHc0RHa.jpg)
柯西係數是指材料的折射率隨波長變化的物理量。
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