基本介紹
- 中文名：李運鋒
- 性別：男
- 學歷：博士
- 出生年份：1976年
個人概況,研究方向,項目經歷,獲得的榮譽,發表論文,發明專利,
個人概況
同年進入上海微電子裝備有限公司，從事高端光刻機對準技術的研發和項目管理工作，歷任系統工程師、技術主管、部門副經理。在國內外期刊發表公開發表論文16篇，其中SCI收錄2篇（次），EI收錄6篇（次），申請發明專利50餘項。
研究方向
李運鋒博士一直從事超高精度（納米級）測量技術的研發工作，目前主要的研究方向基於衍射光柵的矽片對準測量技術、機器視覺技術，以及後端的信號處理技術和圖像處理技術。
同時，在工程項目中，主要從事系統設計和項目管理工作，組織和領導相關學科的設計工程師（光學設計工程師、機械工程師、軟硬體設計工程師等），從事項目的開發和工程實現工作。
項目經歷
2000-2002年，機器人變結構控制技術的研究 ；
2002-2006年，生物發酵過程先進控制技術的研究；
2006-目前，從事高端光刻機對準技術的研發工作（項目屬於‘863’專項和“國家重大科技專項”）
獲得的榮譽
發明專利“光刻技術中對準信號的處理方法”(ZL200910049046.1)獲得國家知識產權局“2010年度百件優秀中國專利項目”；
2008、2009年度，兩次獲得上海微電子裝備有限公司“優秀員工“”榮譽稱號；
2008、2009年度，兩次獲得上海微電子裝備有限公司“專利十佳”榮譽稱號；
2009年度，獲得上海微電子裝備有限公司“專利成果獎”；
2010年度，獲得上海微電子裝備有限公司第一屆技術論壇論文鼓勵獎；
2010年度，被授予上海微電子裝備有限公司“專利成就銅獎”
發表論文
1. 李運鋒,韋學志,宋海軍,徐榮偉,基於粗對準與精對準分開探測的對準系統,光學與光電子技術,2009,7(6):61-64
2. 李運鋒,王海江,韋學志,宋海軍,用於光刻裝置的多光柵標記對準系統,微納電子技術,2009, 46(8):494-497
3. Yunfeng Li, Jingqi Yuan, Prediction of key state variables usingsupport vector machines in bioprocesses, Chemical Engineering & Technology,2006, 29(3): 313-319.(SCI: 022KZ, EI: 06129764099)
4. Yunfeng Li, Zhifeng Wang, Jingqi Yuan, On-line fault detection usingdynamic SVM-based MPLS for batch processes, Chinese Journal of ChemicalEngineering, 2006,14(6): 754-758. (SCI: 122ZM, EI: 20070210357871)
5. 李運鋒,袁景淇,頭孢菌素C發酵過程狀態變數及效益函式預報方法,化工學報,2005, 56(7): 1281-1283. (EI:05359331303)
6.李運鋒,袁景淇,生物發酵過程效益函式的線上預報,上海交通大學學報,2005,39(8):1341- 1343 + 1348. (EI: 05399387318)
7. 李運鋒,袁景淇,薛耀鋒,發酵過程中神經網路訓練樣本的選取,化工自動化及儀表,2004, 31(6):21-24. (EI:05279198086)
8. 李運鋒,袁景淇,薛耀鋒,生物發酵過程關鍵變數預報系統設計及套用,計算機工程,(EI 源),2005,31(23): 183-185.
9. 李運鋒,袁景淇,神經網路預報在發酵過程異常診斷中的套用,生物工程學報,2005,21(1):102-106.
10.王卓,袁景淇,李運鋒,多罐並行發酵過程的彈性停罐調度策略,上海交通大學學報,2004,38(9): 1548-1551.(EI:04538760045)
11. 薛耀鋒,袁景淇,李運鋒,王卓,基於COM的發酵過程調度最佳化軟體開發,微型電腦套用, 2004,20(8): 33-35.
12. 焦曉紅,耿秋實,方一鳴,李運鋒,液壓伺服並在線上器人的自適應魯棒跟蹤控制,系統仿真學報,2003:15(3):401-403
13. 焦曉紅,李運鋒,方一鳴,耿秋實,一種機器人魯棒自適應控制法,機器人技術與套用,2002,3:40-43
14. 焦曉紅,耿秋實,方一鳴,李運鋒,並在線上器人的魯棒自適應控制,機器人技術與套用,2002,4:22-25
15. 李運鋒,焦曉紅,耿秋實,方一鳴,一種具有全局穩定的L2增益機器人控制器設計方法,自動化理論、技術與套用.2002,9:212-216
16. 耿秋實,焦曉紅,方一鳴,李運鋒,並在線上器人的H∞魯棒自適應控制,自動化理論、技術與套用,2002,9:78-82
發明專利
1. 李運鋒，基於機器視覺的光刻裝置對準系統與對準方法，CN200810034477.6
2. 李運鋒、陳延太、韋學志、陳勇輝、周暢，矽片對準信號的處理方法，CN200810035115.9
3. 李運鋒、王海江、趙新、韋學志、宋海軍，一種矽片標記捕獲系統與方法，CN200910047030.7
4. 李運鋒、王海江、趙新、陳延太、韋學志，光刻技術中對準信號的處理方法，CN200910049046.1
5. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、陳勇輝、周暢，一種用於光刻機對準的標記以及使用該標記的對準方法，CN200710045495.X
6. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、陳勇輝、周暢，對準系統和對準標記，CN200710045496.4
7. 李運鋒、韋學志、徐榮偉、宋海軍，用於光刻設備的對準系統、對準方法及增強型對準標記，CN200810039465.2
8. 李運鋒，對準標記的對準掃描方法，CN200910200223.1
9. 李運鋒、王海江、韓悅、胡明輝，用於光刻設備的對準信號採集系統與對準方法，CN200910201611.1
10. 李運鋒、王海江、宋海軍、韋學志，光刻機的對準信號的周期測校方法，CN200910247635.0
11. 李運鋒、趙新、韓悅、韋學志，對準標記測量信號處理方法，CN201010177516.5
12. 李運鋒，一種信號歸一化掩模對準系統，CN201010250440.4
13. 李運鋒，一種環境補償對準系統，CN201010250448.0
14. 韓悅、李運鋒，一種基於多個不同波長的對準方法，CN200910194853.2
15. 韓悅、李運鋒、趙新，基於雙光源多級次的對準系統及其對準方法，CN200910052799.8
16. 韋學志、李運鋒、徐榮偉、周暢、陳勇輝，一種用於光刻設備的對準系統，CN200710044152.1
17. 李欣欣、李運鋒、韋學志、宋海軍，一種用於光刻設備對準系統的對準標記結構，CN200810040234.3
18. 李欣欣、李運鋒、韋學志、宋海軍、張勇，精確確定空間像高大小的方法，CN200910198352.1
19. 韋學志、李運鋒、徐榮偉、周暢、陳勇輝，用於投影掃描光刻機的對準方法及微器件製造方法，CN200710044153.6
20. 陳振飛、李運鋒、張勇，一種使用信號處理的方法進行矽片對準的對準系統及方法，CN200810041493.8
21. 陳延太、宋海軍、李運鋒，光刻機矽片對準信號的處理方法，CN200910055927.4
22. 程鵬、韋學志、李運鋒、王海江、唐文力、陳振飛、劉強，對準光強信號採集與解調裝置，CN200810204355.7
23. 杜聚有、徐榮偉、宋海軍、韋學志、李運鋒、戈亞萍，一種用於光刻設備的對準系統及對準方法，CN200810041152.0
24. 唐文力、王海江、凃澤恩、宋海軍、李運鋒，掩模對準系統及其方法，CN200810203806.5
25. 王海江、程鵬、李運鋒、唐文力、陳振飛、劉強、宋海軍、韋學志、胡明輝，用於光刻設備的對準標記搜尋系統及其對準標記搜尋方法，CN200910046308.9
26. 徐榮偉、韋學志、李運鋒、周暢、李鐵軍，一種光刻裝置和用於光刻裝置的對準系統及對準方法，CN200710045580.6
27. 徐榮偉、韋學志、李運鋒、周暢、李鐵軍，一種對準標記和對其成像的光學系統以及成像方法，CN200710045579.3
28. 韓悅、李運鋒，一種標記期望位置確定方法，CN201010619057.1
29. 胡明輝、李運鋒，用於光刻裝置的對準系統及對準方法，CN201010137228.7
30. 朱正平、李運鋒、宋海軍、韋學志，一種提高對準精度的對準掃描方法，CN201010582193.8
31. 胡明輝、李運鋒，掩模對準自適應掃描方法，CN201110086178.9
32. 朱正平、李運鋒、宋海軍、李欣欣，離軸信號處理方法，CN201110187349.7
33. 陳小娟、李運鋒、趙正棟，光刻機掩模的對準掃描方法及對準信號處理方法，CN201110187358.6
34. 趙正棟、李運鋒、陳小娟、趙新、宋海軍，光刻設備對準方法，CN201110074407.5
35. 鐘芳、李運鋒、王海江、宋海軍，用於光刻設備的集成感測器，CN201110086796.3
36. 王海江、李運鋒、唐文力、程鵬、曹佩、宋海軍，用於掩模對準的探測器系統及方法，CN201110204032.x
37. 陳小娟、李運鋒、趙正棟、趙新，用於掩模對準的對準信號採集系統及對準方法，CN201110272730.3
38. 王海江、李運鋒、唐文力、程鵬、曹佩、宋海軍，一種自動增益系統信號與增益同步採集裝置與方法，CN201010621219.5
39. 韓悅、韋學志、李運鋒、宋海軍，基於多周期標記的色動態選擇方法，CN200810033263.7
40. 朱正平、李運鋒、韋學志、宋海軍，一種提高對準掃描成功率的方法，CN200910199599.5
41. 王海江、唐文力、李運鋒程鵬、陳振飛宋海軍、韋學志、胡明輝，一種用於DUV光刻裝置的掩模對準面形探測裝置，CN201010135955.x
42. 戈亞萍、徐榮偉、李運鋒，一種雷射束偏移測量裝置和方法，CN201110068068.x
43. 陳延太、宋海軍、韋學志、李運鋒、王海江，一種基於正交化模型的離軸信號處理方法、裝置及系統，CN201010164981.5
44. 唐文力、王海江、陳振飛、程鵬、李運鋒，一種電光相位調製器諧振頻率檢測裝置及檢測方法，CN201010118296.9
45. 王海江、王詩華、戈亞萍、唐文力、李運鋒、程鵬、陳振飛、宋海軍、韋學志、胡明輝，矽片對準光源幅度調製裝置，CN201010173160.8
46. 王海江、唐文力、程鵬、陳振飛、李運鋒、宋海軍、韋學志，一種對準信號模擬發生裝置，CN201010292198.7
