李志堅文集

內容簡介

本文集共三冊，其中收集和整理了李志堅院士自上個世紀60年代到2007年間，不同時期發表的部分重要論文，其內容涉及微電子技術發展戰略展望、半導體器件物理、積體電路技術、系統集成技術等方面。在50餘年的科研與教學生涯中，李志堅院士長期堅持在第一線從事科學研究工作，並以其特有的睿智和對新技術的敏銳把握，與其合作者發表了大量的學術論文，對微電子科學與技術的發展作出了重要的貢獻。

本書可以作為高等學校信息技術及微電子專業師生的參考書，也可供相關研究領域的科研技術人員學習參考。

編輯推薦

李志堅院士是我國微電子學的重要奠基人之一，自1958年從蘇聯留學歸國後，50餘年來一直工作和奮鬥在微電子學領域，他的人生歷程，與中國微電子學科的發展進程以及清華大學微電子學研究所的創建和發展息息相關。

本文集收錄了李志堅院士(及其合作者)從上世紀60年代到2007年間不同時期發表的部分重要論文，共236篇，以年代為主線，同時按照主題進行了適當的歸類，內容涵蓋微電子技術發展戰略展望、半導體器件物理、積體電路技術、系統集成技術等多方面。

個人簡介

李志堅，浙江寧波人。

1951年畢業於浙江大學物理系。

1958年獲蘇聯列寧格勒大學物理－數學副博士學位。清華大學教授。

50年代初，在半導體薄膜光電導和光電機理研究中，提出電子晶粒間界理論，在此基礎上研製成高信噪比PbS紅外探測器。

1959年研製成高超純多晶矽。

60年代從事矽器件研究，其中平面矽工藝及高反壓矽高頻三極體成果，促進了國內有關的研究和生產。

1977年以後主要從事大規模、超大規模集成技術及器件物理的研究，領導、指導和直接參與了多種靜態存儲器，8位、16位高速微處理器、EEPROM 和1兆位漢字ROM等超大規模積體電路晶片的研製工作，並取得成功。同時開發出3微米和1微米成套工藝技術。

指導並發明半導體紅外高速退火技術和設備。近期的研究包括：系統晶片集成和微電子機械技術。1991當選為中國科學院院士（學部委員）。

2011年5月2日凌晨病逝。

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