朱美萍(中國科學院上海光學精密機械研究所研究員)

朱美萍，1982年8月生，無黨派人士，博士研究生，研究員，中國科學院上海光學精密機械研究所研究員、薄膜光學實驗室主任。

基本介紹

• 中文名：朱美萍
• 出生日期：1982年8月
• 工作單位：中國科學院上海光學精密機械研究所
• 學位/學歷：博士研究生

人物介紹

朱美萍同志從事雷射薄膜技術，攻克了傳統沉積技術難以避免的生長性損傷及偏振薄膜膜層龜裂等難題。

教育背景

2009-09--2012-06 上海光機所 博士

2003-09--2006-06 上海光機所 碩士

1999-09--2003-06 浙江大學 學捆旋棗士

工作經歷

工作簡歷

2017-10~現在, 上海光機所, 研究員

2012-10~2017-09,上海光機所, 副研究員

2007-10~2012-09,上海光機所, 助理研究員

2006-07~2007-09,上海光機所, 研究實習員

社會兼職

2020-03-01-今,中國雷射雜誌社, 青年編委

2020-01-15-今,SPIE Laser Damage, 國際組委會委員

2019-09-01-今,中國光學學會光學材料專業委員會, 委員

2019-03-22-今,光學薄膜標準化技術委員會, 副主任委員

上海市第十六屆陵臘付訂人民代表大會代表

研究領域

雷射薄膜製備技術

雷射與薄膜相互作用研究

專利與獎勵

獎勵信息

曾獲國家萬人計畫青年拔尖人才，中科院青促會優秀會員

（1） 上海市巾幗創新獎, , 部委級, 2020

（2） 全國巾幗建功標兵, , 國家級, 2020

（3） 上海市三八紅旗手標兵, , 部委級, 2020

（4） 上海市青年五四獎兵探章標兵, 部委級, 2019

（5） 大尺寸高性能雷射偏振薄膜元件成套製備工藝技術及套用, 二等獎, 國家級, 2018

（6） 中國專利優秀獎, , 部委級, 2018

（7） 米級、高消光比、高損傷閾值偏振薄膜元件成套製備工藝技術與套用開發, 一等獎, 省級, 2017

（8） 強雷射光學元件表面缺陷精密檢測技術及套用, 一等獎, 省級, 2017

（9） 軍隊科技進步獎, 二等獎, 部委級, 2012

（10）第十七屆中國青年科技獎特別獎，2022

專利成果

（ 1 ） 提高薄膜光譜性能的膜厚監控方法, 發明, 2012, 第 1 作者, 專利號: ZL201110094660.7

（ 2 ） 解決電子束沉積多層膜龜裂的臨界層應力的調控方法, 發明, 2018, 第屑邀辨 1 作者, 專利號: ZL201710380376.3

（ 3 ） 綜合沉積鍍膜設備及綜合鍍膜方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201810140027.9

（ 4 ） 提升糊端整斷多層雷射薄膜元件環境穩定性的鍍膜方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201810140020.7

（ 5 ） 降低氧化鉿-氧化矽多層膜表面粗糙度的方法, 發明, 2019, 第 1 作者, 專利號: ZL201710000723.5

（ 6 ） 光控-晶才凶灶控綜合膜厚監控方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310451684.2

（ 7 ） 光學元件透射光譜自動面掃描測量裝置, 發明, 2009, 第 1 作者, 專利號: ZL200820155743.6

（ 8 ） 計算機控制鍍膜裝置, 發明, 2008, 第 1 作者, 專利號: ZL200510026448.1

（ 9 ） 光學膜厚監控系統, 發明, 2008, 第 1 作者, 專利號: ZL200510024987.1

（ 10 ） 漸變界面納米薄層提升HfO2/Al2O3/SiO2紫外反射膜雷射損傷閾值的方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201910655317.1

（ 11 ） 紅外寬頻減反射微結構及其製備方法, 發明, 2019, 第 4 作者, 專利號: ZL201810516821.9

（ 12 ） 大尺寸光學元件的全口徑鍍膜夾具, 發明, 2019, 第 2 作者, 專利號: ZL201610965152.4

（ 13 ） 縫合基板凹陷結構缺陷獲得高損傷閾值高反膜的方法, 發明, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201610243008.X

（ 14 ） 一種超薄光學薄膜襯底矽片的清洗方法, 發明, 2018, 第 4 作者, 專利號: ZL201610204422.X

（ 15 ） 一種中波紅外增透膜設計及製備方法, 發明, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN201911165985.2

（ 16 ） 用於光學薄膜光譜測量的匪轎欠使用環境模擬裝置及測量方法, 發明, 2020, 第 3 作者, 專利號: ZL201910072640.6

（ 17 ） 基於混合物單層膜的光學鍍膜元件面形補償方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL202010190180.X

（ 18 ） 一種大尺寸光學元件鍍膜夾具和裝夾方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL202010170308.6

（ 19 ） 提升電子束蒸鍍薄膜元件的光譜和應力時效穩定性的鍍膜方法, 發明, 2021, 第 3 作者, 專利號: ZL202010239590.9

（ 20 ） 一種用於溶液環境中豎直擺放光學元件的夾具, 實用新型, 2021, 第 1 作者, 專利號: ZL202021875436.2

出版信息

發表論文

（1） Dichroic laser mirrors with mixture layers and sandwich-like-structure interfaces, Photonics Research, 2021, 通訊作者

（2） HfO2/SiO2 anti-reflection films for UV lasers via plasma-enhanced atomic layer deposition, Journal of Alloys and Compounds, 2021, 通訊作者

（3） Al2O3 anti-reflection coatings with graded-refractive index profile for laser applications, Optical Materials Express, 2021, 通訊作者

（4） Strategy to improve the long-term stability of low-stress e-beam coatings, Optical Materials Express, 2020, 通訊作者

（5） Highly-Dispersive Mirrors With Advanced Group Delay Dispersion, IEEE Photonics Technology Letters, 2020, 第 8 作者

（6） Probing quantum confinement effects on the excitonic property and electronic band structures of MoS2, Applied Surface Science, 2020, 第 6 作者

（7） Nanolaminate-based design for UV laser mirror coatings, Light: Science & Applications, 2020, 第 1 作者

（8） Effects of water adsorption on properties of electron-beam HfO2/SiO2 high-reflection coatings, Thin Solid Films, 2020, 通訊作者

（9） Angle-adjustment-based tunable chirped mirrors with continuous dispersion compensation, Optics Letters, 2019, 第 6 作者

（10） Effects of ion beam etching of fused silica substrates on the laser-induced damage properties of antireflection coatings at 355 nm, Optical Materials, 2019, 第 4 作者

（11） Laser damage characteristics of indium-tin-oxide film and polyimide film, Infrared Physics & Technology, 2019, 第 7 作者

（12） High-repetition-rate laser-induced damage of indium tin oxide films and polyimide films at a 1064 nm wavelength, Optical Materials Express, 2019, 第 6 作者

（13） Effects of structural defects on laser-induced damage of 355-nm high-reflective coatings sputtered on etched substrates, Optical Materials, 2019, 第 4 作者

（14） Design, fabrication and application of dispersive mirrors with a SiO2 sculptured layer, Optical Materials Express, 2018, 第 7 作者

（15） Investigation on picosecond laser-induced damage in HfO2/SiO2 high-reflective coatings, Optics and Laser Technology, 2018, 第 7 作者

（16） Design and fabrication of composite structures in ZnSe providing broadband mid-infrared anti-reflection, Optical Materials, 2018, 第 5 作者

（17） Laser resistance dependence of interface for high-reflective coatings studied by capacitance-voltage and absorption measurement, Optics Letters, 2018, 通訊作者

（18） Environmental stability investigation on electron-beam deposited coatings with dense capping layer, Optical Engineering, 2018, 通訊作者

（19） Influence of deposition temperature and SiO2 overcoat layer on laser resistance of 532-nm high-reflection coating, Optical Engineering, 2018, 第 1 作者

（20） Study on Brewster angle thin film polarizer using hafnia-silica mixture as high refractive index material, Optical Engineering, 2018, 通訊作者

（21） Wide angle and broadband perfect absorber with compact multilayer structures, Modern Physics Letters B, 2017, 第 3 作者

（22） Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, Applied Optics, 2017, 第 5 作者

（23） Improving the laser-induced damage threshold of 532-nm antireflection coating using plasma ion cleaning, Optical Engineering, 2017, 第 1 作者

（24） Improving laser damage resistance of 355 nm high-reflective coatings by co-evaporated interfaces, Optics Letters, 2016, 通訊作者

（25） Multilayer deformation planarization by substrate pit suturing, Optics Letters, 2016, 通訊作者

（26） Laser-resistance sensitivity to substrate pit size of multilayer coatings, Scientific Reports, 2016, 通訊作者

（27） Impact of substrate pits on laser-induced damage performance of 1064-nm high-reflective coatings, Optics Letters, 2015, 通訊作者

（28） Experimental demonstration of laser damage caused by interface coupling effects of substrate surface and coating layers, Optics Letters, 2015, 通訊作者

（29） Influence of SiO2 overcoat layer and electric field distribution on laser damage threshold and damage morphology of transport mirror coatings, Optics Communications, 2014, 第 1 作者

（30） Effect of Advanced Plasma Source bias voltage on properties of HfO2 films prepared by plasma ion assisted electron evaporation from metal hafnium, Thin Solid Films, 2013, 第 1 作者

（31） Reduction in thickness error of optical coatings by dividing thick layers and monitoring with multiple witness glasses, Vacuum, 2013, 第 1 作者

（32） Theoretical and experimental research on spectral performance and laser induced damage of Brewsters thin film polarizers, Applied Surface Science, 2011, 第 1 作者

（33） Influence of APS bias voltage on properties of HfO2 and SiO2 single layer deposited by plasma ion-assisted deposition, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者

（34） Preparation of high performance thin-film polarizers, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者

科研活動

科研項目

（ 1 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2013-07--2014-06

（ 2 ） ××膜的研製, 主持, 國家級, 2012-01--2014-12

（ 3 ） 基於電子束雙源共蒸的“無界面”多層膜技術研究, 主持, 國家級, 2016-01--2018-12

（ 4 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2014-07--2015-12

（ 5 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2017-01--2017-12

（ 6 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2016-01--2016-12

（ 7 ） 上海基地條件建設項目（一期）, 參與, 國家級, 2016-01--2019-12

（ 8 ） 光學元件批量製造中試驗證, 參與, 國家級, 2013-06--2016-08

（ 9 ） 中紅外高負載鍍膜技術及器件研製, 主持, 國家級, 2016-01--2020-12

（ 10 ） 青年創新促進會, 主持, 部委級, 2015-01--2018-12

（ 11 ） 高負載能力表面織構減反射石英元件, 主持, 國家級, 2011-10--2013-06

（ 12 ） 高強度、優質介質膜生產工藝研究與驗證, 主持, 國家級, 2010-01--2012-06

（ 13 ） 上海市青年拔尖人才, 主持, 省級, 2019-01--2021-12

（ 14 ） 國家“萬人計畫”青年拔尖人才, 主持, 國家級, 2019-01--2021-12

（ 15 ） 中國科學院青年創新促進會優秀會員, 主持, 部委級, 2020-01--2022-12

（ 16 ） 基於原子層沉積的高性能紫外雷射減反射膜技術研究, 主持, 國家級, 2020-01--2023-12

（ 17 ） 面向強雷射套用的雷射薄膜元件關鍵技術研究及批量供貨能力研究, 主持, 部委級, 2020-01--2024-12

參與會議

（1）Effect of water vapor on the properties of coatings deposited by electron-beam evaporation 2018-09-28

（2）Investigation on the multilayer coating with co-evaporated interface 2018-04-24

（3）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing 2017-10-25

（4）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing and co-evaporation technique 2017-07-17

（5）Stress Compensation by an Undercoat SiO2 Layer Prepared using Plasma Ion Assisted Deposition 2016-10-03

（6）Thin-film polarizer for high power laser system 2016-03-07

（7）Influence of Different-sized Substrate Pits on Nanosecond-Laser-Induced-Damage in High-Reflective Coatings 2015-09-21

（8）Research on the laser damage performance of high reflection coatings at 355 nm 2013-05-20

（9）Multiple wavelength laser induced damage of multilayer beam splitters 2012-09-24

（10）Photo-thermal tomography of optical coatings based on surface thermal lensing technology 2011-10-24

所獲榮譽

2022年，榮獲第十七屆中國青年科技獎。

（ 3 ） 綜合沉積鍍膜設備及綜合鍍膜方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201810140027.9

（ 4 ） 提升多層雷射薄膜元件環境穩定性的鍍膜方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201810140020.7

（ 5 ） 降低氧化鉿-氧化矽多層膜表面粗糙度的方法, 發明, 2019, 第 1 作者, 專利號: ZL201710000723.5

（ 6 ） 光控-晶控綜合膜厚監控方法, 發明, 2015, 第 1 作者, 專利號: ZL201310451684.2

（ 7 ） 光學元件透射光譜自動面掃描測量裝置, 發明, 2009, 第 1 作者, 專利號: ZL200820155743.6

（ 8 ） 計算機控制鍍膜裝置, 發明, 2008, 第 1 作者, 專利號: ZL200510026448.1

（ 9 ） 光學膜厚監控系統, 發明, 2008, 第 1 作者, 專利號: ZL200510024987.1

（ 10 ） 漸變界面納米薄層提升HfO2/Al2O3/SiO2紫外反射膜雷射損傷閾值的方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL201910655317.1

（ 11 ） 紅外寬頻減反射微結構及其製備方法, 發明, 2019, 第 4 作者, 專利號: ZL201810516821.9

（ 12 ） 大尺寸光學元件的全口徑鍍膜夾具, 發明, 2019, 第 2 作者, 專利號: ZL201610965152.4

（ 13 ） 縫合基板凹陷結構缺陷獲得高損傷閾值高反膜的方法, 發明, 2018, 第 3 作者, 專利號: ZL201610243008.X

（ 14 ） 一種超薄光學薄膜襯底矽片的清洗方法, 發明, 2018, 第 4 作者, 專利號: ZL201610204422.X

（ 15 ） 一種中波紅外增透膜設計及製備方法, 發明, 2019, 第 5 作者, 專利號: CN201911165985.2

（ 16 ） 用於光學薄膜光譜測量的使用環境模擬裝置及測量方法, 發明, 2020, 第 3 作者, 專利號: ZL201910072640.6

（ 17 ） 基於混合物單層膜的光學鍍膜元件面形補償方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL202010190180.X

（ 18 ） 一種大尺寸光學元件鍍膜夾具和裝夾方法, 發明, 2020, 第 1 作者, 專利號: ZL202010170308.6

（ 19 ） 提升電子束蒸鍍薄膜元件的光譜和應力時效穩定性的鍍膜方法, 發明, 2021, 第 3 作者, 專利號: ZL202010239590.9

（ 20 ） 一種用於溶液環境中豎直擺放光學元件的夾具, 實用新型, 2021, 第 1 作者, 專利號: ZL202021875436.2

出版信息

發表論文

（1） Dichroic laser mirrors with mixture layers and sandwich-like-structure interfaces, Photonics Research, 2021, 通訊作者

（2） HfO2/SiO2 anti-reflection films for UV lasers via plasma-enhanced atomic layer deposition, Journal of Alloys and Compounds, 2021, 通訊作者

（3） Al2O3 anti-reflection coatings with graded-refractive index profile for laser applications, Optical Materials Express, 2021, 通訊作者

（4） Strategy to improve the long-term stability of low-stress e-beam coatings, Optical Materials Express, 2020, 通訊作者

（5） Highly-Dispersive Mirrors With Advanced Group Delay Dispersion, IEEE Photonics Technology Letters, 2020, 第 8 作者

（6） Probing quantum confinement effects on the excitonic property and electronic band structures of MoS2, Applied Surface Science, 2020, 第 6 作者

（7） Nanolaminate-based design for UV laser mirror coatings, Light: Science & Applications, 2020, 第 1 作者

（8） Effects of water adsorption on properties of electron-beam HfO2/SiO2 high-reflection coatings, Thin Solid Films, 2020, 通訊作者

（9） Angle-adjustment-based tunable chirped mirrors with continuous dispersion compensation, Optics Letters, 2019, 第 6 作者

（10） Effects of ion beam etching of fused silica substrates on the laser-induced damage properties of antireflection coatings at 355 nm, Optical Materials, 2019, 第 4 作者

（11） Laser damage characteristics of indium-tin-oxide film and polyimide film, Infrared Physics & Technology, 2019, 第 7 作者

（12） High-repetition-rate laser-induced damage of indium tin oxide films and polyimide films at a 1064 nm wavelength, Optical Materials Express, 2019, 第 6 作者

（13） Effects of structural defects on laser-induced damage of 355-nm high-reflective coatings sputtered on etched substrates, Optical Materials, 2019, 第 4 作者

（14） Design, fabrication and application of dispersive mirrors with a SiO2 sculptured layer, Optical Materials Express, 2018, 第 7 作者

（15） Investigation on picosecond laser-induced damage in HfO2/SiO2 high-reflective coatings, Optics and Laser Technology, 2018, 第 7 作者

（16） Design and fabrication of composite structures in ZnSe providing broadband mid-infrared anti-reflection, Optical Materials, 2018, 第 5 作者

（17） Laser resistance dependence of interface for high-reflective coatings studied by capacitance-voltage and absorption measurement, Optics Letters, 2018, 通訊作者

（18） Environmental stability investigation on electron-beam deposited coatings with dense capping layer, Optical Engineering, 2018, 通訊作者

（19） Influence of deposition temperature and SiO2 overcoat layer on laser resistance of 532-nm high-reflection coating, Optical Engineering, 2018, 第 1 作者

（20） Study on Brewster angle thin film polarizer using hafnia-silica mixture as high refractive index material, Optical Engineering, 2018, 通訊作者

（21） Wide angle and broadband perfect absorber with compact multilayer structures, Modern Physics Letters B, 2017, 第 3 作者

（22） Laser-damage characteristics of Nd: glass active mirrors, Applied Optics, 2017, 第 5 作者

（23） Improving the laser-induced damage threshold of 532-nm antireflection coating using plasma ion cleaning, Optical Engineering, 2017, 第 1 作者

（24） Improving laser damage resistance of 355 nm high-reflective coatings by co-evaporated interfaces, Optics Letters, 2016, 通訊作者

（25） Multilayer deformation planarization by substrate pit suturing, Optics Letters, 2016, 通訊作者

（26） Laser-resistance sensitivity to substrate pit size of multilayer coatings, Scientific Reports, 2016, 通訊作者

（27） Impact of substrate pits on laser-induced damage performance of 1064-nm high-reflective coatings, Optics Letters, 2015, 通訊作者

（28） Experimental demonstration of laser damage caused by interface coupling effects of substrate surface and coating layers, Optics Letters, 2015, 通訊作者

（29） Influence of SiO2 overcoat layer and electric field distribution on laser damage threshold and damage morphology of transport mirror coatings, Optics Communications, 2014, 第 1 作者

（30） Effect of Advanced Plasma Source bias voltage on properties of HfO2 films prepared by plasma ion assisted electron evaporation from metal hafnium, Thin Solid Films, 2013, 第 1 作者

（31） Reduction in thickness error of optical coatings by dividing thick layers and monitoring with multiple witness glasses, Vacuum, 2013, 第 1 作者

（32） Theoretical and experimental research on spectral performance and laser induced damage of Brewsters thin film polarizers, Applied Surface Science, 2011, 第 1 作者

（33） Influence of APS bias voltage on properties of HfO2 and SiO2 single layer deposited by plasma ion-assisted deposition, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者

（34） Preparation of high performance thin-film polarizers, Chinese Optical Letters, 2011, 第 1 作者

科研活動

科研項目

（ 1 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2013-07--2014-06

（ 2 ） ××膜的研製, 主持, 國家級, 2012-01--2014-12

（ 3 ） 基於電子束雙源共蒸的“無界面”多層膜技術研究, 主持, 國家級, 2016-01--2018-12

（ 4 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2014-07--2015-12

（ 5 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2017-01--2017-12

（ 6 ） 特種光學元件關鍵技術與工藝攻關, 主持, 國家級, 2016-01--2016-12

（ 7 ） 上海基地條件建設項目（一期）, 參與, 國家級, 2016-01--2019-12

（ 8 ） 光學元件批量製造中試驗證, 參與, 國家級, 2013-06--2016-08

（ 9 ） 中紅外高負載鍍膜技術及器件研製, 主持, 國家級, 2016-01--2020-12

（ 10 ） 青年創新促進會, 主持, 部委級, 2015-01--2018-12

（ 11 ） 高負載能力表面織構減反射石英元件, 主持, 國家級, 2011-10--2013-06

（ 12 ） 高強度、優質介質膜生產工藝研究與驗證, 主持, 國家級, 2010-01--2012-06

（ 13 ） 上海市青年拔尖人才, 主持, 省級, 2019-01--2021-12

（ 14 ） 國家“萬人計畫”青年拔尖人才, 主持, 國家級, 2019-01--2021-12

（ 15 ） 中國科學院青年創新促進會優秀會員, 主持, 部委級, 2020-01--2022-12

（ 16 ） 基於原子層沉積的高性能紫外雷射減反射膜技術研究, 主持, 國家級, 2020-01--2023-12

（ 17 ） 面向強雷射套用的雷射薄膜元件關鍵技術研究及批量供貨能力研究, 主持, 部委級, 2020-01--2024-12

參與會議

（1）Effect of water vapor on the properties of coatings deposited by electron-beam evaporation 2018-09-28

（2）Investigation on the multilayer coating with co-evaporated interface 2018-04-24

（3）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing 2017-10-25

（4）Enhanced LIDT of high-reflective coatings by substrate pit suturing and co-evaporation technique 2017-07-17

（5）Stress Compensation by an Undercoat SiO2 Layer Prepared using Plasma Ion Assisted Deposition 2016-10-03

（6）Thin-film polarizer for high power laser system 2016-03-07

（7）Influence of Different-sized Substrate Pits on Nanosecond-Laser-Induced-Damage in High-Reflective Coatings 2015-09-21

（8）Research on the laser damage performance of high reflection coatings at 355 nm 2013-05-20

（9）Multiple wavelength laser induced damage of multilayer beam splitters 2012-09-24

（10）Photo-thermal tomography of optical coatings based on surface thermal lensing technology 2011-10-24

所獲榮譽

2022年，榮獲第十七屆中國青年科技獎。