有機鐵源是有很高揮發性、高純度的有機鐵化合物,用於金屬有機化合物氣札。
特性
無害、無毒固體:主要指雙環戊二烯基鐵(幾Hs)z}e。以環戊廠烯基鉀與二氧化鐵為原料製得,用減壓蒸餾和重結晶技術提純。主要用來生產高電阻率的磷化錮薄膜,其電阻率可謎l OA,i}}cm
有機鐵源是有很高揮發性、高純度的有機鐵化合物,用於金屬有機化合物氣札。
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