有機錫源

特性

用於金屬有機化合物氣相沉積(MOCV17)具有很高揮發性、高純度的有機錫化合物。可燃性液體。主要指四甲基錫仁( C:Hs ) a}n .、四乙幕錫t }}Hs).tSn}。以烷基鋁和四氯化錫為原料製備。採用精密精餾、減壓精餾和分子蒸餾技術提純精製。主要用作制111一1'族半導體化合物，尤其是}} a}的，1型摻雜源，以及JU於沉積氧化錫導電薄膜的源材料_