有機鈹源

指用於金屬有機化合物氣相沉積(MCWVl)具有很高揮發性。高純度的有機彼化合物C可自(CzH,)aLe劉一空氣和水卜分敏感。主安指二乙基銀 一甲基彼廠(Hs)z1%。一。以氨化被為原料,採用燃問格利雅反應製備。採用精密精餾、減壓精餾法提純。主要用作Cia!1s的p型摻雜源。

特性

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