有機化學氣相沉積設備

有機化學氣相沉積設備是一種用於化學領域的工藝試驗儀器，於2007年11月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：有機化學氣相沉積設備
• 產地：中國
• 學科領域：化學
• 啟用日期：2007年11月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 化工、製藥工藝實驗設備

技術指標

有能夠將不同反應氣體分別送入反應室、有助於反應氣體形成良好的層流。

主要功能

製備II-VI族和III-V族半導體薄膜材料。