《曲面雷射直寫的恆姿態調焦研究》是依託浙江大學，由梁宜勇擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：曲面雷射直寫的恆姿態調焦研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：梁宜勇
- 項目類別：面上項目
- 負責人職稱：副教授
- 批准號：60678037
- 研究期限：2007-01-01 至 2009-12-31
- 申請代碼：F0508
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
曲面衍射器件作為光學高新技術具有廣泛套用前景，雷射直寫是其製作的重要手段。由於曲面會使調焦光束產生偏轉，因此基於平面的雷射直寫自動對焦系統將失效。通過光學頭與基片的姿態跟蹤可以保證對焦光束與基片的垂直，但這樣會導致結構與控制的過度複雜，此方案可稱為變姿態曲面調焦。本研究則提出恆姿態曲面對焦方案，即光學頭與基片在整個對焦過程中保持原有姿態不變，獲得光學系統簡化下更適於基片面形快速變化時的跟蹤寫入。恆姿態調焦方案將引入共焦調焦方案作為曲面調焦的基本原理。為了提取足夠的離焦信息，即根據探測信號同時取得離焦量和離焦方向，本研究引入針孔振子，即在探測器側的成像物鏡焦面處放置受縱向調製的針孔。控制系統通過採集調製信號和探測信號，套用鎖相跟蹤技術完成曲面自動對焦，實現亞微米曲面衍射器件的加工。
